[发明专利]一种适用于废气处理的净化系统及其控制方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种废气处理领域。更具体地说，本发明涉及一种在半导体制作工艺中适用于废气处理的净化系统及其控制方法。

背景技术

在半导体制作工艺中需要使用多种特殊气体以及大量的酸或碱，在半导体制造的不同工艺中使用并产生大量的废气，这些废气通过排风系统收集并处理，以防止直接排放对环境以及人们的身体健康造成的严重后果。

半导体制作工艺中产生的废气一般采取水洗、燃烧、吸附、解离等方法，然而燃烧水洗式去除废气的方法能有效处理废气中的主要废弃物PFCs，能处理大流量的废气，同时去除各种可燃性的污染物，对环境污染较少，一般工业上处理废气，采取处理后直接排放的手段，并没有监测排放气体的有害成分，以最大化减小对环境的污染程度，保护环境，另外，半导体制作工艺中有不同的工艺，产生的废气的种类和浓度也不同，然而通过统一手段直接处理，存在排放废气中有害成分超标的可能。

发明内容

本发明的一个目的是解决至少上述问题和/或缺陷，并提供至少后面将说明的优点。

本发明还有一个目的是提供一种适用于废气处理的净化系统，其能够处理半导体制作工艺中产生的废气种类和浓度不稳定的问题，最大化处理废气，大大地减少排放污染率。

本发明还有一个目的是通过监测废气经过不同处理后的有害气体成分，通过比较每一次处理后的气体净化度，判断气体直接排放或是经过下一个处理，大大地提高了废气处理的净化系统的自动化程度，以提高了工作效率，节省了人力。

为了实现根据本发明的这些目的和其它优点，提供了一种适用于废气处理的净化系统，包括：

燃烧室，所述燃烧室的上部设有第一进气口，其与第一进气管连通，其下部设有第一排气口；

喷淋管，其连通所述第一排气口设置在所述燃烧室的下方，所述喷淋管的外壁上设有一连接第一控制阀的第一入水口，其与设置在所述喷淋管内部的喷嘴连通；

沉降池，其连通所述喷淋管的另一端设置在所述喷淋管的下方，其侧壁的上部设有第二排气口，其侧壁靠近所述沉降池底部的部位设有连接第二控制阀的第一出水口，所述第二控制阀设置为使所述沉降池的液面低于所述第二排气口；

第一净化池，其顶部通过第一三通管连通所述第二排气口，所述第一净化池的上部分别设有第三排气口和连接第三控制阀的第二入水口，所述第一净化池的下部设有连接第四控制阀的第二出水口，所述第一三通管包括第一管口、第二管口和第三管口，其中，第一管口与所述第二排气口连通，第三管口通过导管连通到所述第一净化池的液面以下，所述第二管口和第三管口分别设有第一单向气阀和第二单向气阀；

第二净化池，其顶部通过第二三通管连通所述第三排气口，所述第二净化池的上部分别设有第四排气口和连接第五控制阀的第三入水口，所述第二净化池的下部设有连接第六控制阀的第三出水口，所述第二三通管包括第四管口、第五管口和第六管口，其中，第四管口与所述第三排气口连通，第六管口通过导管连通到所述第二净化池的液面以下，所述第五管口和第六管口分别设有第三单向气阀和第四单向气阀；

清水池，其顶部通过第三三通管连通所述第四排气口，所述清水池的上部分别设有第五排气口和连接第七控制阀的第四入水口，所述清水池的下部设有连接第八控制阀第四出水口，所述第三三通管包括第七管口、第八管口和第九管口，其中，第七管口与所述第四排气口连通，第八管口通过导管与第六管口连通，第二管口、第五管口和第九管口均通过导管连通到所述清水池的液面以下，所述第八管口和第九管口分别设有第五单向气阀和第六单向气阀。

优选的是，所述的适用于废气处理的净化系统，还包括四个气体检测装置，其用于实时收集排放气体的监测数据，所述第一进气管内设置有第一气体检测装置，所述第一管口设置有第二气体检测装置，所述第四管口设置有第三气体检测装置，第七管口设置有第四气体检测装置。

优选的是，所述的适用于废气处理的净化系统，所述第一净化池和第二净化池内的液体均为氧化剂溶液。

本发明的目的还可以进一步由一种适用于废气处理的净化系统的控制方法来实现，该方法包括以下步骤：

步骤一、每间隔预设时间采集所述第一气体检测装置、第二气体检测装置、第三气体检测装置、第四气体检测装置和第五气体检测装置的监测数据，分别得到第一进气管、第一管口、第四管口和第七管口排放气体中有毒有害气体的质量分数W₁、W₂、W₃和W₄；