[发明专利]流体控制测量系统的供电装置

说明书

本发明提供一种流体控制测量系统的供电装置。为了防止管理多个流量控制装置(101)的供电装置(102)的电源装置大型化，在控制流体流量的多个流量控制装置(101)上分别连接电缆，通过该电缆(8)管理各流量控制装置(101)的动作并向各流量控制装置(101)供电，其中，供电装置具有供电控制部(10)，该供电控制部(10)使针对至少一部分流量控制装置(101)的供电开始时机偏移。

技术领域

本发明涉及一种流体控制测量系统的供电装置，所述流体控制测量系统例如用于控制在半导体制造工序中使用的材料气体、药液和清洗液等流体的流量。

背景技术

例如在半导体制造工序那样使用多种气体时，在每个气体管道上都设置有流量控制装置，以便控制各气体的流量。此外，由于对上述流量控制装置小型化的需求不断提高，所以不将电源装置组装于流量控制装置而采用如下方式：通过通信电缆从统一管理各流道控制装置的供电装置供电。

一般来说，在启动时，比通常运转时更大的冲击电流流经供电线，所以需要将针对电流容量具有余量的较大型的电源装置安装于供电装置。

但是，如果流量控制装置的数量增多，则整体的冲击电流也相应地变大，从而导致电源装置大型化。并且，由于例如在半导体工序系统中还要求供电装置小型化，所以如果供电装置的电源大型化，则产生不能满足上述要求的不利情况。

专利文献1：国际公开公报WO2008/069227号。

发明内容

鉴于上述问题，本发明的目的在于提供一种流体控制测量系统的供电装置，能够防止管理多个流体设备的供电装置的电源装置大型化。

即，本发明的供电装置在通过电连接线分别与控制或测量流体的多个流体设备连接的情况下，通过所述电连接线所包含的供电线向各所述流体设备供电，并且从电源向与所述供电线分开地包含于所述电连接线的断接监视用线供电，其中，所述供电装置包括供电控制部，所述供电控制部使针对至少一部分流体设备的供电开始时机偏移，所述供电控制部包括：供断电部，使针对各所述流体设备的供电通断；以及电连接线断接监视部，在向各所述流体设备供电之后，通过判断在所述断接监视用线中是否有电流流动，从而对连接所述电源和各所述流体设备的电连接线的断接分别进行监视，所述电连接线断接监视部在检测到所述电源与所述流体设备的切断的情况下，向所述供断电部发送通断控制信号，从而停止向检测出切断的电连接线的供电线供电。

此外，优选的是，所述电连接线断接监视部在停止供电之后检测到所述电源与所述流体设备的连接的情况下，向所述供断电部发送通断控制信号，从而向检测出连接的电连接线的供电线供电。

按照这种结构，由于供电控制部使针对至少一部分流体设备的供电开始时机偏移，所以例如能够使启动时从供电装置的电源流入各流体设备的冲击电流在时间上分散。因此，不需要像以往那样根据流体设备的数量使电源的电流容量变大，可以通过使供电装置侧的电源大幅度地小型化，从而使供电装置小型化、轻量化。

此外，按照这种结构，可以使供电控制部向多个电连接线中的与流体设备连接的电连接线可靠地供电。

在此，在与流体设备切断的电缆上产生电压时，如果使上述电缆与流体设备连接，则连接时向流体设备作用有因LC谐振等产生的过电流或过电压，有可能导致流体设备破损。

为了防止因电缆的误插拔或断线导致的破损，优选的是，所述电连接线断接监视部向所述供断电部发送通断控制信号，停止向检测出切断的电连接线的供电线供电。

按照上述结构，由于与流体设备切断的电缆的供电线上不产生电压，所以即使上述电缆与流体设备连接，也可以抑制流体设备的过电流或过电压，从而可以使流体设备不容易破损。

此外，即使切断的电缆上附着有污物或尘埃等，并且使切断的电缆错误地与端子连接，由于在上述电缆的供电线上不产生电压，所以能够防止短路、过电流和过电压等。