[发明专利]基于离轴抛物反射镜的高分辨率MEMS微镜红外光谱仪

权利要求书

1.基于离轴抛物面反射镜的高分辨率MEMS 微镜红外光谱仪，它是由光纤连接器（1）、入射狭缝（2）、离轴抛物面反射镜（3）、扫描镜（4）、闪耀光栅（5）、聚焦反射镜（6）、出射狭缝（7）、探测器（8）部分组成；其特征在于：所述光纤连接器（1）放置在入射狭缝（2）前，入射狭缝（2）设置于离轴抛物面反射镜（3）的焦点或焦点附近，待测光信号通过光纤连接器（1）、入射狭缝（2）耦合进光谱仪，被离轴抛物面反射镜（3）准直为平行光束；扫描镜（4）放置在离轴抛物面反射镜（3）的准直光路上，闪耀光栅（5）紧靠扫描镜（4）、与扫描镜（4）呈小于90°夹角放置，聚焦反射镜（6）与闪耀光栅对向放置；准直的平行光束被扫描镜（4）反射到闪耀光栅（5）上，通过闪耀光栅（5）进行色散分光；色散光被聚焦反射镜（6）聚焦成像，并且色散光被聚焦反射镜（6）聚焦反射后，反射光路与经离轴抛物面反射镜（3）准直的平行光束相交叉；出射狭缝（7）位于聚焦反射镜（6）的焦平面上或焦平面附近，探测器（8）放置在出射狭缝（7）后方；由于扫描镜（4）的周期性扫描运动，不同波长的待测光信号被闪耀光栅（5）分光、聚焦反射镜（6）聚焦成像后依次通过出射狭缝（7）照射在探测器（8）上，从而实现光谱的连续扫描探测。

2. 根据权利要求1 所述红外光谱仪，其特征在于：所述扫描镜（4）是利用微电子机械系统技术制作而成、具有可绕固定转轴做周期性扭摆运动镜面的微光学元件。

3. 根据权利要求1 所述红外光谱仪，其特征在于：所用探测器（8）既可以是光导型近、中红外单元探测器，也可以是光伏型近、中红外单元探测器。

4. 根据权利要求1 所述红外光谱仪，其特征在于：光纤连接器（1）既可以是FC 端口光纤连接器，又可以是SMA 端口光纤连接器。

5.根据权利要求1或4所述红外光谱仪，其特征在于：根据实际需要，光谱仪可略去入射狭缝（2）或光纤连接器（1）。

6.根据权利要求1所述红外光谱仪，其特征在于：根据实际需要，出射狭缝（7）可被光纤代替，使待测光信号依次耦合进光纤后、通过光纤传输输出到探测器（8）上进行光谱探测。