[发明专利]用于将材料引入材料处理系统的托架系统

权利要求书

1.一种用于保持前驱物材料的托架系统，包括：

托架，其包括多个区段，所述多个区段中的每个区段包括容座；以及

多个杯体，其用于保持前驱物材料，其中所述多个杯体中的每一个杯体配置成位于所述托架的所述多个区段中的一区段的容座内。

2.根据权利要求1所述的托架系统，其中，每个杯体包括圆柱形状以用于位于所述托架的圆柱形容座内。

3.根据权利要求1所述的托架系统，所述托架包括外部，该外部包括外周表面以及从所述外周表面延伸的弯曲底表面。

4.根据权利要求1所述的托架系统，所述托架包括第一纵向半部和第二纵向半部，所述第一纵向半部包括每个容座的第一部分，所述第二纵向半部包括每个容座的第二部分。

5.根据权利要求4所述的托架系统，所述托架还包括多个机械连接特征，其位于所述多个区段的区段之间并且用于将所述第一纵向半部和所述第二纵向半部连接在一起以及调整所述第一纵向半部与所述第二纵向半部之间的张力。

6.根据权利要求1所述的托架系统，所述托架还包括多个机械连接特征，用于调整所述多个区段中的相关联区段的第一纵向半部与第二纵向半部之间的张力。

7.根据权利要求6所述的托架系统，所述多个连接特征中的每个连接特征包括弹簧加载插销和弹簧加载螺钉之一。

8.根据权利要求6所述的托架系统，其中，所述多个连接特征沿交替方向连接至所述托架。

9.根据权利要求1所述的托架系统，所述托架包括黑色。

10.根据权利要求1所述的托架系统，所述托架包括铝、铜、金和银中的至少一种。

11.根据权利要求1所述的托架系统，其中，所述多个杯体中的每一个杯体包括热传输装置，所述热传输装置包括多个列柱，所述多个列柱中的每个列柱具有六边形、方形、三角形和菱形中的至少一个。

12.根据权利要求1所述的托架系统，其中，所述多个杯体中的每个杯体包括基本上平坦的底表面。

13.一种用于保持前驱物材料的杯体，包括：

外部，其包括外周表面；

底表面，其从所述外周表面延伸；

热传输装置，其位于所述杯体的内部部分内并且包括多个列柱。

14.根据权利要求13所述的杯体，其中，所述多个列柱中的每个列柱具有六边形、方形、三角形和菱形之一。

15.根据权利要求13所述的杯体，其中，所述多个列柱中的每个列柱具有基本上0.25英寸的直径。

16.根据权利要求13所述的杯体，所述底表面包括基本上平坦的表面。

17.一种用于将前驱物材料引入材料处理系统中的托架，包括：

多个区段，所述多个区段中的每个区段包括配置用于容纳包括前驱物材料的杯体的容座；以及

多个连接特征，其用于调整托架的两个纵向半部之间的张力。

18.根据权利要求17所述的托架，所述多个区段中的每个区段包括圆柱形，并且包括外周表面以及从所述外周表面延伸的弯曲的底表面。

19.根据权利要求17所述的托架，每个容座具有基本上平坦的底表面以用于容纳具有基本上平坦底表面的杯体。

20.根据权利要求17所述的托架，所述多个连接特征中的每个连接特征包括弹簧加载的连接特征。

21.一种方法，包括：

在托架的多个容座内定位包括前驱物材料的多个杯体；

在沉积系统的蒸发腔室内定位包括所述多个杯体的所述托架；以及

加热所述杯体内的前驱物材料。

22.根据权利要求21所述的方法，还包括经由联接至所述托架的一个或多个连接特征而调整所述托架的两个纵向半部之间的张力。

23.根据权利要求21所述的方法，其中所述调整包括以下之一：在所述托架内定位所述多个杯体中的一杯体之前减小所述张力；以及在所述托架内定位所述多个杯体中的一杯体之后增大所述张力中的。