[发明专利]掩膜板

权利要求书

1.一种掩膜板，用于向玻璃基板上转移电晶体图案，其特征在于，该掩膜板包括多个掩膜图案，每个掩膜图案包括一个半环状的第一图案、在该第一图案的外圆的弧形边水平延伸的第二图案以及位于该第一图案正中位置处且远离该第一图案的内圆的第三图案，其中，该第一图案具有一沟槽，该沟槽具有透光性，该第一图案的沟槽宽度为0.5～1.1um。

2.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，该沟槽为半环形，且位于该第一图案的外圆与内圆之间。

3.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，该沟槽的内边与该第一图案的内圆之间的距离为0.7～1.3um。

4.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，该第一图案的内圆与该第三图案之间的距离为2.0～3.0um。

5.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，该玻璃基板为薄膜晶体管阵列基板。

6.如权利要求5所述的掩膜板，其特征在于，该第一图案对应该薄膜晶体管阵列基板的薄膜晶体管的源极。

7.如权利要求5所述的掩膜板，其特征在于，该第三图案对应该薄膜晶体管阵列基板的薄膜晶体管的漏极。

8.如权利要求5所述的掩膜板，其特征在于，该第二图案对应该薄膜晶体管阵列基板上的导电层，该导电层用于传输数据信号。