[发明专利]一种石墨烯柔性表面肌电电极及其制备方法

权利要求书

1.一种石墨烯柔性表面肌电电极的制备方法，其特征在于：

1)将铜箔清洗干燥后通过化学气相沉积法在铜箔表面沉积单层石墨烯；

2)在铜箔石墨烯表面中心涂上导电银胶并连接导电线，在100～160℃条件下加热固化10～30min；

3)在连接引导线的石墨烯面，覆盖胶黏剂，在80～150℃条件下干燥固化1h-2h；

4)铜箔刻蚀，刻蚀完全后，将电极清洗晾干，得石墨烯柔性表面肌电电极。

2.根据权利要求1所述石墨烯柔性表面肌电电极的制备方法，其特征在于：步骤1)中所述铜箔清洗干燥方法如下：将铜箔依次置于丙酮、乙醇、去离子水中超声清洗10min，用氮气吹干。

3.根据权利要求1所述石墨烯柔性表面肌电电极的制备方法，其特征在于：步骤1)中所述化学气相沉积法如下：将铜箔放置于化学沉积系统真空腔体中，通入氩气、氢气与甲烷的混合气体，并调节温度为900～1100℃，压力为10～100Pa，控制沉积时间为5-20min。

4.根据权利要求3所述石墨烯柔性表面肌电电极的制备方法，其特征在于：调节温度为1050℃，压力为20Pa。

5.根据权利要求3所述石墨烯柔性表面肌电电极的制备方法，其特征在于：氩气、氢气与甲烷的混合气体中氩气、氢气、甲烷体积比为200～180:100～80:5。

6.根据权利要求1所述石墨烯柔性表面肌电电极的制备方法，其特征在于：步骤3)中所述胶黏剂为聚二甲基硅氧烷、聚甲基丙烯酸甲酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚乙烯或聚酰亚胺。

7.根据权利要求1所述石墨烯柔性表面肌电电极的制备方法，其特征在于：步骤3)中所述覆盖胶黏剂采用涂覆的方式。

8.根据权利要求7所述石墨烯柔性表面肌电电极的制备方法，其特征在于：步骤3)中涂覆胶黏剂厚度为1-2mm。

9.根据权利要求1所述石墨烯柔性表面肌电电极的制备方法，其特征在于：步骤4)中所述铜箔刻蚀方法为：将未刻蚀铜箔的电极放入浓度为1mol/L～5mol/L的硝酸铁溶液中，刻蚀2～6h。

10.由权利要求1～9任意一项所述石墨烯柔性表面肌电电极的制备方法得到的石墨烯柔性表面肌电电极。