[发明专利]气态物料的配料系统

说明书

技术领域

本发明属于一种配料装置，具体涉及一种气态物料的配料系统。

背景技术

在对WF₆进行生产过程中，会有一定量的轻杂质，如HF、N₂、O₂等，产生或渗漏进入产品中，因此需要对产出的WF₆物料进行纯化处理。

在对分离上述WF₆与轻杂质的试验研究过程中，需要模拟生产装置中的原料，定量配比的结果将直接影响试验结果的客观性与准确性。但是单纯的将WF₆、HF、N₂、O₂静置在一个密闭的容器中时，上述气体会分层分布而非均布混合，导致流出容器的物料组成及含量不均匀，因此，上述配料方法并不能满足现有的需求。

发明内容

本发明为解决现有技术存在的问题而提出，其目的是提供一种气态物料的配料系统。

本发明的技术方案是：一种气态物料的配料系统，包括WF₆供料装置、HF供料装置、N₂供料装置并行连接到管道中，并与配料罐连通，所述的WF₆供料装置包括通过管道和阀门依次相通的WF₆供料容器、WF₆稳压罐、WF₆质量流量计、配料罐，所述的HF供料装置包括括通过管道和阀门依次相通的HF供料容器、HF稳压罐、HF质量流量计、标准体积罐、配料罐，HF质量流量计两端与W7阀门并行连通，所述的标准体积罐包括四个接口，标准体积罐的第一、第四接口两端与依次连通的W9阀门、Ⅳ号压力计、W10阀门并行连通，所述的N₂供料装置包括通过管道和阀门依次相通的N₂供料容器、N₂稳压罐、N₂质量流量计、标准体积罐、配料罐，N₂质量流量计两端与N4阀门并行连通，标准体积罐的第三、第四接口两端与依次连通的N6阀门、Ⅴ号压力计、N7阀门并行连通，连接有真空泵机组的收料容器分别与HF稳压罐、N₂稳压罐、标准体积罐连通。

收料容器外部设置有Ⅱ号恒温装置，HF供料容器外部设置有Ⅰ号恒温装置。

本发明实现了各物料的定量调整与供给，保证了进入配料罐的物料流量与各自的含量是稳定不变的，由于试验过程中三种物料的流量有较大的区别，因此分别采用质量法控制WF₆的流量和体积法控制HF、N₂的流量，能够提高流量的控制精度和控制难度，阀门W7与阀门N4的使用，使本发明可以满足大物料漏率的要求。

附图说明

图1是本发明的整体结构示意图；

图2是本发明中WF₆的供料装置示意图；

图3是本发明中HF的供料装置示意图；

图4是本发明中N₂的供料装置示意图。

其中：

1 WF₆供料装置2 HF供料装置

3 N₂供料装置 4 配料罐

5 WF₆供料容器6 管道

7 WF₆稳压罐8 手动微调阀门

9 WF₆质量流量计10 HF供料容器

11 HF稳压罐12 HF质量流量计

13 标准体积罐14 收料容器

15 N₂供料容器16 N₂稳压罐

17 N₂质量流量计18 真空泵机组

19 Ⅰ号压力计 20 Ⅱ号压力计

21 Ⅲ号压力计22 Ⅳ号压力计

23 Ⅴ号压力计24 Ⅵ号压力计

25 Ⅰ号恒温装置 26 Ⅱ号恒温装置

27 Ⅶ号压力计

F0～F5，W0～W10，N1～N7，WN1、WN2，WD、ND、WND1～WND3均为阀门。

具体实施方式

以下，参照附图和实施例对本发明进行详细说明：

如图1所示，一种气态物料的配料系统，包括WF₆供料装置1、HF供料装置2、N₂供料装置3并行连接到管道6中，并与配料罐4连通。