[发明专利]一种自驱动阵列式振动传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201510030414.3 | 申请日： | 2015-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN104614065A | 公开（公告）日： | 2015-05-13 |
| 发明（设计）人： | 张跃;梁齐杰;闫小琴;廖新勤;赵艳光;曹诗瑶 | 申请（专利权）人： | 北京科技大学 |
| 主分类号： | G01H11/06 | 分类号： | G01H11/06 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 皋吉甫 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 驱动 阵列 振动 传感器 及其 制备 方法 | ||
1.一种自驱动阵列式振动传感器，包括：基底层（1）、电极层（2）和功能薄膜层（3），所述电极层（2）设置于基底层（1）上表面，所述功能薄膜层（3）设置于电极层（2）上表面，其特征在于，所述电极层（2）包括若干电极（4），所述电极（4）阵列排布构成电极层（2）。
2.根据权利要求1所述的自驱动阵列式振动传感器，其特征在于，所述电极（4）的材料包括：铝、铜、掺氟氧化锡（FTO）和氧化铟锡（ITO）。
3.根据权利要求1所述的自驱动阵列式振动传感器，其特征在于，所述功能薄膜层（4）的材料包括：聚四氟乙烯（PTFE）、聚氯乙烯（PVC）、聚酰亚胺（PI）、聚丙烯晴（PAN）、聚偏氟乙烯（PVDF）和聚二甲基硅氧烷（PDMS）。
4.根据权利要求1所述的自驱动阵列式振动传感器，其特征在于，所述电极（4）阵列排布方式包括：矩形阵列排布、环形阵列排布、不规则阵列排布。
5.一种自驱动阵列式振动传感器的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：
a. 将厚度为50微米的聚四氟乙烯薄膜（PTFE）裁剪为长度为5厘米且宽度为5厘米的矩形制成功能薄膜层（3）；
b. 将得到的功能薄膜层（3）和使用的基底层（1）依次在丙酮、异丙醇、乙醇中各置于超声清洗机中清洗二十分钟，烘干；
c. 将长度为5厘米且宽度为3厘米的铝箔裁剪成相同的九块制成电极（4），将电极（4）黏在基底上，得到阵列化电极且每个电极（4）分别连接导线；
d. 将步骤b中的功能薄膜层（3）黏在阵列化后的电极（4）上，得到自驱动阵列式振动传感器。
6.根据权利要求5所述的自驱动阵列式振动传感器制造方法，其特征在于，所述功能薄膜层（3）的材料包括：聚四氟乙烯（PTFE）、聚氯乙烯（PVC）、聚酰亚胺（PI）、聚丙烯晴（PAN）、聚偏氟乙烯（PVDF）和聚二甲基硅氧烷（PDMS）。
7. 根据权利要求5所述的自驱动阵列式振动传感器制造方法，其特征在于，所述电极（4）的材料包括：铝、铜、掺氟氧化锡（FTO）和氧化铟锡（ITO）。
8.根据权利要求5所述的自驱动阵列式振动传感器制造方法，其特征在于，所述自驱动阵列式振动传感器的电极（4）数量为1~100个。
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