[发明专利]微孔过滤器的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及微孔过滤器的制造方法。该微孔过滤器使用于测定高真空或超高真空的电离真空计或分压真空计等真空计、真空泵、真空材料等的校正。

背景技术

测定高真空或超高真空的电离真空计或分压真空计等真空计、真空泵、真空材料等需要在实际上对其进行使用的当前位置处进行校正(现场校正)。已被提出有下述一种方案(例如参照专利文献1)：通过对导入了基准流量的气体的真空容器的真空度进行测定来进行上述现场校正，这时，为了向上述真空容器内导入上述基准流量的气体，使用到标准流导元件(SCE)。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-156273号公报

发明内容

发明所要解决的课题

上述标准流导元件例如由孔径1μm以下的微孔过滤器构成，使得通过的气体能够形成分子流，并希望二次侧的单位时间的气体流量(传导率(m3/秒))无论一次侧的气体压力如何都能够形成恒定。

鉴于上述问题，本发明的目的在于提供一种能够作为上述标准流导元件进行使用的微孔过滤器的制造方法。

用于解决课题的方法

为了达到上述目的，本发明的微孔过滤器的制造方法的特征在于包括以下各步骤：利用使用了氧化锆磨珠的珠磨机对具备3～60μm范围粒径的不锈钢颗粒实施处理，调制通过厚度相对长径的比率、即厚度/长径来表述的扁平度是0.03～0.4范围的粉末的步骤；利用酸洗除去因所述珠磨机的处理而附着在所述粉末的表面上的氧化锆的步骤；对酸洗后的0.5～1.0g的所述粉末施加10～15kN的负荷进行成型，获得圆柱状成型体的步骤；在10-5～10-3Pa范围的真空环境下，将所述成型体保持在1000～1300℃范围的温度下烧成1～3小时，制得烧结体的步骤；以及，将上述烧结体压入具备相对该烧结体的外径是0.90～0.99倍范围的内径的管内并挤出的步骤。

在本发明的微孔过滤器的制造方法中，首先，利用使用了氧化锆磨珠的珠磨机(beads mill)对具备3～60μm范围粒径的不锈钢颗粒实施处理，调制通过厚度相对长径的比率(厚度/长径)来表述的扁平度是0.03～0.4范围的粉末。

当上述不锈钢颗粒的粒径超过60μm时，制得的粉末的扁平度无法达到上述范围。另外，当上述不锈钢颗粒的粒径不足3μm时，难以通过上述珠磨机进行处理。

当上述扁平度超过0.4时，无法获得具备所需性能的微孔过滤器。同时，使上述扁平度不足0.03则从技术上来讲比较困难。

在进行上述珠磨机实施的处理时，上述粉末的表面上会附着氧化锆。在使用这种粉末的情况下，无法获得具备所需性能的微孔过滤器。因此，在本发明的微孔过滤器的制造方法中，接着，通过对上述粉末进行酸洗，溶解并除去附着在该粉末的表面上的氧化锆。

在本发明的微孔过滤器的制造方法中，接着，对酸洗后的0.5～1.0g的所述粉末施加10～15kN的负荷进行成型，从而获得圆柱状成型体。对0.5g上述粉末施加超过15kN的负荷时，该粉末彼此之间的间隙变得紧密，从而无法获得具备所需性能的微孔过滤器。同时，在对1.0g上述粉末施加不足10kN的负荷的情况下，成型步骤本身就比较困难，无法获得上述成型体。

在本发明的微孔过滤器的制造方法中，接着，在10-5～10-3Pa范围的真空环境下，将所述成型体保持在1000～1300℃范围的温度下烧成1～3小时，从而制得烧结体。当上述真空环境超过10-3Pa时，由于上述粉末被氧化，则无法获得具备所需性能的微孔过滤器。同时，没有必要将上述真空环境设定成不足10-5Pa，这样也无法获得更好的效果。

另外，当在超过1300℃的温度下，保持上述成型体超过3小时的情况下，制得的烧结体被过度烧结，无法获得具备所需性能的微孔过滤器。同时，在不足1000℃的温度下，保持上述成型体不足1小时的情况下，则无法对上述成型体进行充分的烧成。

本发明的微孔过滤器的制造方法中，接着，将上述烧结体压入具备相对该烧结体的外径是0.90～0.99倍范围的内径的管内并挤出，从而制得微孔过滤器。当上述管的内径相对上述烧结体的外径超过0.99倍时，无法获得具备所需性能的微孔过滤器。另外，当上述管的内径相对上述烧结体的外径不足0.9倍时，则将该烧结体压入该管中的步骤本身就比较困难。

附图说明

图1是表示本发明的微孔过滤器的制造方法中的制造步骤的流程图。

图2是表示通过珠磨机处理获得的粉末的形状的斜视图。