[发明专利]束传输设备和方法

权利要求书

1.一种在光刻系统内使用的束分裂设备，包括：

多个静态反射镜，每个所述多个静态反射镜被布置成接收来自辐射源的第一辐射束的不同部分并且沿着多个方向中的一个方向反射辐射的相应部分以形成用于供给到多个工具的多个分支辐射束，其中所述多个方向中的每一个方向提供相应的分支光学路径，每一分支光学路径与所述多个工具中的相应一个相关联，且至少一个分支光学路径与多个所述静态反射镜相关联以使得至少一个分支辐射束包括多个分别被不同的静态反射镜所反射的部分，且其中所述至少一个分支辐射束中的每个分支辐射束由第一辐射束的不同部分形成。

2.根据权利要求1所述的束分裂设备，其中所述分支光学路径中的每一个与相应的多个所述静态反射镜相关联以使得每一分支辐射束包括多个所述分别被不同的静态反射镜所反射的部分。

3.根据权利要求1或2所述的束分裂设备，其中每一静态反射镜被布置成部分地跨越所述第一辐射束延伸。

4.根据权利要求1或2所述的束分裂设备，其中所述多个静态反射镜中的至少一些被配置成反射所述第一辐射束的实心区域。

5.根据权利要求1或2所述的束分裂设备，其中所述多个静态反射镜中的至少一些由反射性光栅提供，所述光栅的多个反射面中的每一个反射面提供所述多个静态反射镜中的相应一个静态反射镜。

6.根据权利要求5所述的束分裂设备，其中与所述多个方向中的同一个方向相关联的所述光栅的每一反射面实质上平行于单个硅晶体平面延伸。

7.根据权利要求5所述的束分裂设备，其中所述光栅是宏观尺度光栅。

8.根据权利要求7所述的束分裂设备，其中所述光栅的所述多个反射面被布置成使得每一反射部分的扩展在所述多个工具中与所述一个分支光学路径相关联的一个工具处导致与一个分支光学路径相关联的至少两个反射部分的部分重叠。

9.根据权利要求8所述的束分裂设备，其中所述多个反射面被布置成使得重叠的反射部分提供具有实质上与所述第一辐射束的强度轮廓相同的强度轮廓的分支辐射束。

10.根据权利要求5所述的束分裂设备，其中所述光栅包括与用以提供第一分支辐射束的第一分支光学路径相关联的第一多个反射面；

其中所述第一多个反射面中的每一个被布置成反射所述第一辐射束的相应部分以形成所述第一分支辐射束的相应子束；并且

其中所述第一多个反射面被布置成使得如果所述第一辐射束的位置在垂直于所述第一辐射束的传播方向的平面中改变，那么由所述第一多个反射面中的至少一个接收的功率增加并且由所述第一多个反射面中的至少一个接收的功率降低。

11.根据权利要求5所述的束分裂设备，其中所述光栅是微观尺度光栅。

12.根据权利要求11所述的束分裂设备，其中所述光栅的所述多个反射面被布置成使得从所述光栅反射的辐射的部分衍射以提供所述多个分支辐射束。

13.根据权利要求12所述的束分裂设备，其中所述光栅的所述多个反射面被布置成使得每一分支辐射束具有实质上类似于所述第一辐射束的强度轮廓的强度轮廓。

14.根据权利要求5所述的束分裂设备，其中所述光栅的所述多个反射面在垂直于所述第一辐射束的传播方向的至少一个方向上具有平移对称性。

15.根据权利要求5所述的束分裂设备，其中所述束分裂设备包括扩展和/或平顶形成光学装置，并且其中所述反射性光栅设置于所述扩展和/或平顶形成光学装置的上游。