[发明专利]电磁致动器用电枢线圈、电磁致动器、曝光装置及器件制造方法

权利要求书

1.一种电磁致动器用电枢线圈，其通过将带状的绕线绕规定的 绕线轴卷绕多圈而形成，其特征在于，

所述绕线具有带状的导电体和设于所述导电体的一面侧的带状 的绝缘体。

2.如权利要求1所述的电磁致动器用电枢线圈，其特征在于，

所述导电体与所述绝缘体一体地形成。

3.如权利要求1或者2所述的电磁致动器用电枢线圈，其特征 在于，

在绕所述绕线轴卷绕了所述绕线的状态下，所述绝缘体设于所述 导电体的内周面侧。

4.如权利要求1～3中任一项所述的电磁致动器用电枢线圈，其 特征在于，

所述导电体与所述绝缘体是以大致相同的宽度形成。

5.如权利要求1～4中任一项所述的电磁致动器用电枢线圈，其 特征在于，

所述绕线还具有粘接层，所述粘接层将隔着所述绝缘体相互重叠 的所述导电体粘接起来。

6.如权利要求5所述的电磁致动器用电枢线圈，其特征在于，

所述绝缘体与所述粘接层一体地形成。

7.如权利要求1～6中任一项所述的电磁致动器用电枢线圈，其 特征在于，

还具有涂敷膜，所述涂敷膜覆盖由所述绕线的宽度方向一侧的端 部形成的第一面以及由所述绕线的宽度方向另一侧的端部形成的第 二面中的至少一方。

8.如权利要求7所述的电磁致动器用电枢线圈，其特征在于，

所述涂敷膜是由电绝缘体形成的。

9.如权利要求8所述的电磁致动器用电枢线圈，其特征在于，

所述涂敷膜是通过热喷涂金属氧化物类的陶瓷来形成的。

10.如权利要求7～9中任一项所述的电磁致动器用电枢线圈， 其特征在于，

所述第一面与所述第二面是平行的。

11.如权利要求1～10中任一项所述的电磁致动器用电枢线圈， 其特征在于，

所述绝缘体比所述导电体更薄。

12.一种电磁致动器，其特征在于，具有：

设于可动件以及固定件中的一方的权利要求1～11中任一项所述 的电磁致动器用电枢线圈；以及

设于所述可动件以及固定件中的另一方的磁体，

通过所述电磁致动器用电枢线圈与所述磁体的电磁相互作用，而 在所述电磁致动器用电枢线圈与所述磁体之间产生推力。

13.一种曝光装置，其特征在于，具有：

移动体，其保持规定的物体，并利用权利要求12所述的电磁致 动器所产生的所述推力来移动；以及

图案形成装置，其使用能量束在所述移动体所保持的所述物体上 形成规定的图案。

14.一种器件制造方法，其特征在于，包括如下的步骤：

使用如权利要求13所述的曝光装置来对所述物体进行曝光；以 及

使曝光了的所述物体显影。