[发明专利]流量调整装置及具备其的分析装置

权利要求书

1.一种流量调整装置，其特征在于包括：

流量调整阀，用于对在流路内流动的流体的流量进行调整；

压力传感器，设置在所述流量调整阀的下游侧，对所述流路内的压力进行检测；

偏移值存储部，存储偏移值，所述偏移值成为利用所述压力传感器对所述流路内的压力进行检测时的基准；

判定处理部，在所述压力传感器的输出值为第1阈值以下或在规定时间内的所述压力传感器的输出值的最大值与最小值的差为第2阈值以下时，判定所述压力传感器的输出值不是与对应于大气压的值相偏离的值；

偏移值更新处理部，当将所述压力传感器的输出值判定为不是与对应于大气压的值相偏离的值时，使所述压力传感器的输出值作为偏移值存储在所述偏移值存储部；以及

压力测定处理部，根据通过所述偏移值更新处理部而更新的偏移值及所述压力传感器的输出值，对所述流路内的压力进行测定。

2.根据权利要求1所述的流量调整装置，其特征在于更包括：

调整电路，用于对偏移值进行调整，

所述判定处理部根据通过所述调整电路而调整所述偏移值的所述压力传感器的输出值，判定所述压力传感器的输出值不是与对应于大气压的值相偏离的值。

3.根据权利要求1或2所述的流量调整装置，其特征在于：

所述流量调整阀是用于通过手动对在所述流路内流动的流体的流量进行调整的构件。

4.一种分析装置，其特征在于包括：

根据权利要求1至3中任一权利要求所述的流量调整装置；以及

分析部，对经由所述流路而供给的流体进行分析。