[发明专利]具有背部冷却槽的溅射靶材

权利要求书

1.一种用于溅射腔室的溅射靶材，所述溅射靶材包含：

圆形溅射板，所述圆形溅射板包括：

溅射表面；

背部表面，所述背部表面与所述溅射表面相对，其中所述背部表面具有径向内部区域、径向中间区域及径向外部区域，所述背部表面具有：

多个圆形槽，所述多个圆形槽彼此间隔开；以及

至少一个弓状通道，所述至少一个弓状通道切割穿过所述圆形槽，且从所述溅射板的所述径向内部区域延伸至所述径向外部区域；

环形背表面，所述环形背表面与所述溅射表面相对；

倾斜的外周边壁，所述外周边壁从所述溅射表面的外边缘延伸至所述环形背表面的外边缘；

内周边壁，所述内周边壁从所述背部表面延伸至所述环形背表面的内边缘，其中由所述背部表面和所述内周边壁界定凹槽，所述凹槽暴露所述溅射板的所述背部表面；以及

环形背板，所述环形背板安装至所述溅射板，其中所述环形背板包括环形主体，所述环形主体界定开口环，所述开口环暴露所述溅射板的所述背部表面，所述环形主体由以下结构界定：

环形前表面，所述环形前表面接触所述圆形溅射板的所述环形背表面；

环形凸缘，所述环形凸缘延伸超过所述溅射板的半径，所述环形凸缘包括周边圆形表面，所述周边圆形表面具有用于安置在表面上的外部基脚；以及

从所述环形前表面的内边缘延伸至所述环形凸缘且与所述圆形溅射板的所述内周边壁对齐的内周边壁。

2.如权利要求1所述的溅射靶材，其中所述圆形槽为同心槽。

3.如权利要求2所述的溅射靶材，其中所述圆形槽包含从20个至30个槽。

4.如权利要求1所述的溅射靶材，其中所有的所述圆形槽位于所述背部表面的所述径向中间区域处。

5.如权利要求1所述的溅射靶材，其中所述背部表面具有至少8个弓状通道。

6.如权利要求5所述的溅射靶材，其中所述弓状通道以从所述背部表面的中心测量的从30度至90度的角度彼此间隔开。

7.如权利要求1所述的溅射靶材，其中所述环形背板包含铜和铬的合金。

8.如权利要求1所述的溅射靶材，其中所述环形背板包含从以下材料选择的第一材料：Al_0.5Cu、Al_1.0Si、Al_0.5Cu_1.0Si、纯铝、铜、铬、钛、钨、钼、钴、钽、Li-P-O-N、锗、GeS₂、硅、SiO₂、石英及以上材料的组合。

9.如权利要求8所述的溅射靶材，其中所述溅射板由选自钛或氮化钛的第二材料组成，并且所述第一材料不同于所述第二材料。

10.如权利要求1所述的溅射靶材，所述溅射靶材进一步包含：热交换器外壳，所述热交换器外壳能够容纳围绕所述圆形溅射板的所述背部表面的传热流体；及在所述外壳内的多个能旋转磁体。