[发明专利]用于调节空气的方法和调节设备

权利要求书

1.一种用于调节空气的方法，其包括：

-获知调节设备(114)的待调节的输入气流(152)的至少两个参数的实际值；

-基于如下模型(164)选择所述调节设备(114)的运行状态，利用所述模型将所述至少两个参数的大量可能的实际值与所述调节设备(114)的运行状态相关联；

-将所述调节设备(114)置于所选运行状态中，从而生成所述调节设备(114)的输出气流(154)，所述输出气流的至少两个参数的实际值位于预设定额定值范围(174)内。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，基于参数特性曲线族(166)来选择所述调节设备(114)的运行状态，利用所述参数特性曲线族将所述至少两个参数的大量可能的实际值与所述调节设备(114)的运行状态相关联。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，基于相关函数(168)来选择所述调节设备(114)的运行状态，利用所述相关函数将所述至少两个参数的大量可能的实际值与所述调节设备(114)的运行状态相关联。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，一个参数是空气温度，并且另一个参数是空气水分含量。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其特征在于，利用所述模型(164)将所述至少两个参数的大量可能的实际值组合分别与所述调节设备(114)的运行状态相关联。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其特征在于，所述调节设备(114)的能选择的运行状态是所述调节设备(114)的预限定运行状态，这些预限定运行状态分别包括加湿装置(128)的预限定运行状态、除湿装置(130)的预限定运行状态、加热装置(124)的预限定运行状态和/或冷却装置(126)的预限定运行状态。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，其特征在于，所述调节设备(114)在置于所选运行状态之后置于再调整运行状态中，在所述再调整运行状态中获知输出气流(154)的至少两个参数的实际值与预设定额定值的偏差，并且在所述再调整运行状态中为了使实际值继续接近或等于额定值而进行所述调节设备(114)的再调整。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的方法，其特征在于，利用监视装置(171)获知，输出气流(154)的至少两个参数的实际值与预设定额定值的偏差是否超过预设定最大偏差。

9.一种用于将空气输送至工件处理设备(100)的方法，其包括根据权利要求1至8中任一项所述的方法，其特征在于，将调节设备(114)的输出气流(154)作为处理气流(109)输送给所述工件处理设备(100)的处理室(104)，并且

利用模型(164)将所述调节设备(114)的输入气流(152)的至少两个参数的大量可能的实际值与所述调节设备(114)的运行状态相关联，使得处理气流(109)的至少两个参数的所得到的实际值位于预设定额定值范围(174)内。

10.一种用于调节空气的调节设备(114)，其包括控制装置(160)和测量装置(146)，所述测量装置用于获知所述调节设备(114)的待调节的输入气流(152)的至少两个参数的实际值，

其中，利用所述控制装置(160)能够基于如下模型(164)选择所述调节设备(114)的运行状态，利用所述模型将所述至少两个参数的大量可能的实际值与所述调节设备(114)的运行状态相关联，并且

其中，利用所述控制装置(160)能够将所述调节设备(114)置于所选运行状态中，从而能够生成所述调节设备(114)的输出气流(154)，所述输出气流的至少两个参数的实际值位于预设定额定值范围(174)内。

11.根据权利要求10所述的调节设备(114)，其特征在于，所述控制装置(160)包括存储装置(162)，在所述存储装置上存储有参数特性曲线族(166)和/或相关函数(168)，其中，利用所述参数特性曲线族(166)和/或利用所述相关函数(168)将所述至少两个参数的大量可能的实际值与所述调节设备(114)的运行状态相关联。

12.根据权利要求10或11所述的调节设备(114)，其特征在于，所述调节设备(114)包括加湿装置(128)、除湿装置(130)、加热装置(124)和/或冷却装置(126)。