[发明专利]气体传感器

权利要求书

1.一种气体传感器，其具备：第一发热体、在上述第一发热体的周围形成面积比上述第一发热体大的第二发热体，通过将上述第一发热体加热到预定的温度来测量气体的量，该气体传感器的特征在于，

在上述气体传感器启动时，启动上述第二发热体，在向上述第二发热体施加的电压或流过上述第二发热体的电流超过预定的阈值时在预定期间内限制上述第一发热体的发热量，然后使上述第一发热体上升到上述预定的温度。

2.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，

在上述气体传感器启动时，将上述第一发热体的单位面积的发热量限制为上述第二发热体的单位面积的发热量以下。

3.根据权利要求1或2所述的气体传感器，其特征在于，

在上述气体传感器启动时，在驱动上述第二发热体后驱动上述第一发热体。

4.根据权利要求1或2所述的气体传感器，其特征在于，

具备控制电路，其控制上述第一发热体和上述第二发热体的电压，

在启动时上述控制电路使向上述第一发热体施加的电压比向上述第二发热体施加的电压延迟地上升。

5.根据权利要求1或2所述的气体传感器，其特征在于，

在形成在基板上的薄膜部形成上述第一发热体和上述第二发热体。