[发明专利]成膜掩模的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及将形成了多个开口图案的掩模片张紧而固定于框状的金属框架上的结构的成膜掩模的制造方法，特别是涉及可在掩模片的整个面赋予均等的张力地固定于框架上的成膜掩模的制造方法。

背景技术

现有的成膜掩模的制造方法使用抗蚀剂掩模蚀刻金属制片，形成贯通的多个开口图案，然后在将金属制片拉伸的状态下在该金属制片的周缘部点焊框状的金属框架(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：特开2009－074160号公报

发明内容

发明要解决的问题

但是，在这样的现有的成膜掩模的制造方法中，直接将金属制片在向四方伸展的状态下固定于框架，所以难以对金属制片的整个面赋予均等的张力。因此，有如下问题：根据张力对金属制片的附加方式，在金属制片中发生起皱、挠曲或者相邻的开口图案间的金属部分发生断裂，或者所形成的开口图案变形。

因此，本发明的目的在于，应对这样的问题，提供可在掩模片的整个面赋予均等的张力而固定于框架上的成膜掩模的制造方法。

用于解决问题的方案

为了达成上述目的，第1发明的成膜掩模的制造方法是将形成了多个开口图案的掩模片张紧而固定于框状的金属框架上的结构的成膜掩模的制造方法，进行如下步骤：第1步骤，在被施加一定张力的合成纤维的网上粘接上述掩模片的周缘部；第2步骤，将与上述掩模片的内含上述多个开口图案的大小的成膜有效区域对应的上述网的部分切除；第3步骤，在上述掩模片的周缘部从与上述网相反的一侧接合、固定上述框架；以及第4步骤，将上述网从上述掩模片除去。

另外，第2发明的成膜掩模的制造方法是将形成了多个开口图案的掩模片张紧而固定于框状的金属框架上的结构的成膜掩模的制造方法，进行如下步骤：第1步骤，在被施加一定张力的合成纤维的网上，以使树脂制膜与片状的磁性金属构件的一面紧密接触的结构的掩模用构件的上述膜侧为上述网侧，粘接上述膜的周缘部，上述磁性金属构件设有内含至少一个上述开口图案的大小的多个贯通孔；第2步骤，将与上述掩模用构件的内含上述多个贯通孔的大小的成膜有效区域对应的上述网的部分切除；第3步骤，在上述掩模用构件的上述磁性金属构件的周缘部从与上述网相反的一侧接合、固定上述框架；第4步骤，将上述网从上述掩模用构件除去；以及第5步骤，向与上述磁性金属构件的上述贯通孔内的上述开口图案对应的上述膜的部分照射激光，形成上述开口图案。

发明效果

根据本发明，通过合成纤维的网将掩模片或者掩模用构件在张紧的状态下固定于框架，所以能在掩模片或者掩模用构件的整个面赋予均等的张力。因此，不用担心掩模片或者掩模用构件发生起皱、挠曲，或者所形成的开口图案变形。故此，能提高开口图案的形成位置精度。

附图说明

图1是表示本发明的成膜掩模的制造方法的实施方式，是表示掩模片向框架的接合工序的截面图。

图2是表示作为上述掩模片的金属掩模片的一构成例的图，(a)是俯视图，(b)是局部放大截面图。

图3是表示作为上述掩模片的复合型掩模片的一构成例的图，(a)是俯视图，(b)是局部放大截面图。

图4是表示上述复合型掩模片的开口图案形成前的掩模用构件的图，(a)是俯视图，(b)是局部放大截面图。

具体实施方式

以下基于附图详细说明本发明的实施方式。图1表示本发明的成膜掩模的制造方法的实施方式，是表示掩模片向框架的接合工序的截面图。该成膜掩模的制造方法制造将形成了多个开口图案的掩模片张紧而固定于框状的金属框架的结构的成膜掩模，进行如下步骤：第1步骤，在被施加一定张力的合成纤维的网上粘接掩模片的周缘部；第2步骤，将与掩模片的内含多个开口图案的大小的成膜有效区域对应的网的部分切除；第3步骤，在掩模片的周缘部从与网相反的一侧接合、固定框架；以及第4步骤，将网从掩模片除去。以下对各步骤详细说明。此外，在此，对掩模片如图2所示是使用抗蚀剂掩模蚀刻片状的例如殷钢等磁性金属材料形成多个开口图案5的金属掩模片4的情况进行说明。