[发明专利]彩色滤光片制造工序中的显影排水的处理方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种彩色滤光片制造工序中的显影排水的处理方法，尤其是涉及一种使用混凝剂的彩色滤光片制造工序中的显影排水的处理方法。

背景技术

在彩色滤光片的制造中，使用了由分散有颜料的光阻的光刻法进行的图案形成法(彩色光阻法)。在彩色滤光片制造工序所使用的彩色光阻液中含有颜料、碱可溶性树脂(碱可溶性聚合物)、光聚合成分(单体)及光聚合引发剂、分散剂、溶剂。

在彩色滤光片制造工序中的显影工序中，未曝光(未硬化)的彩色光阻液在显影液中洗掉时，会发生彩色滤光片显影排水。显影液一般具有高碱性，并含有大量非离子性表面活性剂。

该彩色滤光片显影排水，含有来自颜料的铜、镍、锌等的重金属以及高浓度的COD成分，并有来自颜料的着色。

以往，作为含有颜料的排水的处理方法，主要采用通过(i)去除颜料的前工序、与(ii)通过生物处理或臭氧处理或芬顿处理等的促进氧化法将溶解性有机物氧化处理至CO₂的后工序的组合处理(非专利文献1、专利文献1～3)。在(ii)的后工序中，在有机物的氧化处理之外，也有使用(iii)活性炭处理等的吸附处理的情形。根据处理目的，也有组合(i)～(iii)的全部的工序的情形。在与彩色滤光片排水类似的排水的涂装排水的处理中，也有不进行前处理而是在进行生物处理后进行混凝处理的处理方法的提案(专利文献4)。

作为颜料的去除方法，有混凝处理、NF(纳滤)及RO(反渗透)等的膜处理。作为更稳定地进行颜料去除的方法，有并用加温至50℃以上的加温工序与将pH值调整为7以下的pH值调整工序来进行固液分离的方法的提案(专利文献5)。

在专利文献6中记载了下述内容：在含有光阻剂的排水中添加阴离子性聚合物及阳离子性聚合物后，添加阴离子性有机高分子混凝剂来进行固液分离处理，进而视其需要再进行生物处理(第0009、0010、0040段)。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2007-29825；

专利文献2：日本特开平6-55172；

专利文献3：日本特开平8-155308；

专利文献4：日本特开2003-39078；

专利文献5：日本特开2012-154994；

专利文献6：日本特开2012-179529。

非专利文献

非专利文献1：Water Sci Tech 39,10/11，189-192(1989)。

发明内容

发明要解决的课题

随着近年来彩色滤光片制造技术的进歩，颜料的微细化、分散性提高，如何有效率地且稳定地从排水中处理颜料成分在处理工艺上变得越来越重要。

尤其是在成分会变动的排水处理中，在没有去除颜料的前工序而仅通过后工序难以稳定地维持处理性能，通过前处理工序尽可能去除颜料成分是非常重要的。

如前所述，彩色滤光片排水含有高浓度的COD，为了减低后处理工序的负荷，对于去除了颜料的残余的溶解性有机物也被要求尽可能在前处理工序中去除。

以往技术中，由于颜料的微细化、分散化，使用于混凝处理的混凝剂量的增加或由于膜闭塞引起的运转的不稳定性成为课题。在专利文献5中，虽能够达到有效地去除颜料，但是需要进行排水的加温，因此，作为运转成本不一定是廉价的。

本发明的目的是提供一种彩色滤光片制造工序中的显影排水的处理方法，其在彩色滤光片制造工序中的显影排水的生物处理或促进氧化处理等之前，能够对彩色滤光片制造工序中的显影排水中的固体成分或溶解物质有效率地进行混凝处理。

解决课题的方法

本发明的彩色滤光片制造工序中的显影排水的处理方法，其中，其具有下述工序：

pH值调整工序，该工序将酸添加于彩色滤光片制造工序中的显影排水中使pH值为5以下，

阳离子系混凝剂添加工序，该工序接着添加阳离子系混凝剂，

阴离子系混凝剂添加工序，该工序接着添加阴离子系混凝剂，以及

固液分离工序，该工序接着进行固液分离。

在上述pH值调整工序中，优选使pH值为2～4.5。

在上述pH值调整工序中，或在pH值调整工序与阳离子系混凝剂添加工序之间，或在阳离子系混凝剂添加工序与阴离子系混凝剂添加工序之间，优选添加无机混凝剂。

也可对来自上述固液分离工序的处理水进行生物处理或促进氧化处理。

发明的效果