[发明专利]有机电致发光装置和有机电致发光装置的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种有机电致发光装置等。

背景技术

以下，将有机电致发光记作“有机EL”。

以往，公知有一种有机EL装置，其包括：支承基板；以及有机EL元件，其设置在所述支承基板上。所述有机EL元件具有第一电极、第二电极、以及设在所述两电极之间的有机层。

所述有机EL元件容易因水分而发生劣化。为了防止有机EL元件的水分劣化，例如，在专利文献1中，公开了一种有机EL装置，该有机EL装置包括设于支承基板的有机EL元件、设置在有机EL元件上的吸湿层、以及设置在吸湿层上的气体阻隔层。专利文献1的所述吸湿层由氧化钙或氧化锶等金属氧化物形成，所述气体阻隔层由氮化硅、氧化硅或者氮氧化硅形成。气体阻隔层相当于防湿层。

采用专利文献1的有机EL装置，能够利用气体阻隔层来防止水分进入有机EL装置，并由于设于气体阻隔层与有机EL元件之间的吸湿层吸收水分，因此能够抑制有机EL元件的水分劣化。

然而，当所述吸湿层吸收水分时，所述吸湿层会发生体积膨胀，因此，有可能气体阻隔层自吸湿层局部地剥离或在气体阻隔层、吸湿层产生裂纹。当产生所述剥离、裂纹时，水分会自该部分进入有机EL元件而使有机EL元件劣化。因此，以往的有机EL装置的发光寿命较短，要求改进有机EL装置。

专利文献1：日本特开2011－020335号公报

发明内容

发明要解决的问题

本发明的目的在于，提供防止防湿层和吸湿层的剥离等而发光寿命较长的有机EL装置和其制造方法。

用于解决问题的方案

本发明的有机EL装置包括：支承基板；有机EL元件，其设置在所述支承基板上；吸湿层，其设置在所述有机EL元件上且含有具有吸湿性的成分；以及防湿层，其设置在所述吸湿层上且含有具有防湿性的成分，在所述吸湿层与防湿层之间设有浓度梯度层，该浓度梯度层含有具有吸湿性的成分和具有防湿性的成分，所述浓度梯度层具有这样的部分：在该部分中，具有所述吸湿性的成分的含有率随着自所述吸湿层侧朝向防湿层侧去而连续地减少。

优选的是，在所述部分中，具有所述防湿性的成分的含有率随着自所述吸湿层侧朝向防湿层侧去而连续地增加。

优选的是，从所述吸湿层到所述浓度梯度层，具有所述吸湿性的成分的含有率连续地减少。

优选的是，从所述防湿层到所述浓度梯度层，具有所述防湿性的成分的含有率连续地减少。

本发明的另一技术方案提供一种有机EL装置的制造方法。该有机EL装置的制造方法包括如下工序：吸湿层形成工序，在该吸湿层形成工序中，在形成有有机EL元件的支承基板上形成含有具有吸湿性的成分的吸湿层；浓度梯度层形成工序，在该浓度梯度层形成工序中，在所述吸湿层上形成含有具有吸湿性的成分和具有防湿性的成分的浓度梯度层；以及防湿层形成工序，在该防湿层形成工序中，在所述浓度梯度层上形成含有具有防湿性的成分的防湿层，在所述浓度梯度层形成工序中，将已形成吸湿层的纵长带状的支承基板在依次排列设置有第一蒸镀源和第二蒸镀源的蒸镀区域中沿着从所述第一蒸镀源到所述第二蒸镀源的方向输送，所述第一蒸镀源含有构成具有吸湿性的成分的材料，所述第二蒸镀源含有构成具有防湿性的成分的材料。

优选的是，在所述浓度梯度层形成工序中，将所述支承基板以描绘出螺旋状的输送轨迹的方式输送，而使所述支承基板交替地通过所述蒸镀区域和非蒸镀区域。

发明的效果

在本发明的有机EL装置中，防湿层不易自吸湿层剥离，能够长期稳定地进行发光。

附图说明

图1是本发明的有机EL装置的剖视图(将有机EL装置沿其厚度方向进行剖切而得到的剖视图)。

图2是表示吸湿层、浓度梯度层以及防湿层中的吸湿成分和防湿成分的含有率的变化的第一例的参考图表。

图3是表示该含有率的变化的第二例的参考图表。

图4是表示该含有率的变化的第三例的参考图表。

图5是表示用于形成吸湿层、浓度梯度层以及防湿层的一实施方式的蒸镀装置的概略结构的主视图。

图6是该蒸镀装置的左视图。

图7是表示用于形成吸湿层、浓度梯度层以及防湿层的另一实施方式的蒸镀装置的概略结构的示意图。

图8是表示用于形成比较例的有机EL装置的防湿层、混合层以及防湿层的蒸镀装置的概略结构的主视图。

具体实施方式