[实用新型]一种带有橡胶隔水层的晶体生长设备炉体壁内水道结构有效

专利信息
申请号: 201420842962.7 申请日: 2014-12-23
公开(公告)号: CN204342923U 公开(公告)日: 2015-05-20
发明(设计)人: 李杰;谈建岭;史俊杰 申请(专利权)人: 常州爱晶光电设备有限公司
主分类号: C30B35/00 分类号: C30B35/00;F27D1/10
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 213000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 带有 橡胶 水层 晶体生长 设备 体壁 水道 结构
【说明书】:

技术领域:

实用新型涉及一种带有橡胶隔水层的晶体生长设备炉体壁内水道结构。

背景技术:

随着经济的发展,晶体材料方面的运用领域越来越广,晶体生长设备也越来越普遍,但是目前晶体设备还存在着一些缺陷,那就是不锈钢炉体壁中水道的布置。

目前市面上的不锈钢炉体壁中的水道都是通过不锈钢薄板现场配做来达到隔水的效果的,但是这种做法存在一个比较大的缺陷,那就是因为炉体内壁的圆度不够,导致隔水板很难做到与外壁的零间隙,而这也必然会导致在通水时会有部分水不通过水道直接从间隙中通过,严重的时候甚至会导致局部死水发热的情况。

实用新型内容:

鉴于上述技术问题,本实用新型提供了一种带有橡胶隔水层的晶体生长设备炉体壁内水道结构。该水道结构通过加设橡胶隔水层来解决水道隔层间的密封问题,有利于水道间水流的正常流动。

本实用新型的具体技术方案如下:

一种带有橡胶隔水层的晶体生长设备炉体壁内水道结构,包括设有抽气口的炉体,其特征在于,所述炉体通过内壁和外壁构成一水道层,所述水道层中固定安置有复数条隔板;所述每条隔板分别由橡胶隔水层和不锈钢隔水板组合构成。

上述方案中,所述橡胶隔水层的宽度略宽于不锈钢隔水板的宽度。

上述方案中,所述复数条隔板在内部与外壁之间螺旋环布,在炉体壁内形成螺旋向上的水道。

上述方案中,所述炉体一侧壁设有出水口。

上述方案中,所述炉体的底部设有进水口。

上述方案中,所述炉体顶部设有炉体上法兰。

上述方案中,所述炉体底部设有炉体下法兰。

本实用新型所述结构在不锈钢隔水板的基础上略做调整后再在上面增加一层略大的橡胶隔水层,因为橡胶隔水层比内外壁的间隙要稍大,但是橡胶在挤压的情况下可以变形,所以这种做法既可以避免做不锈钢水道隔板时为了达到与外壁的贴合耗费大量的精力,又可以达到内外壁水道之间的完全隔绝,使水流能够按照设计时的思路流动,更好的保证了炉体内部温区的均衡性,使长晶过程更加可控。通过我们的多次对比试验发现改进后长晶设备,确实比原来的设备在长晶效果、炉壁温升等方面有明显的提升。

附图说明:

以下结合附图和具体实施方式来进一步说明本实用新型。

图1为本实用新型的剖面结构图a。

图2为本实用新型的剖面结构图b。

图3为图1中隔板5的局部放大图。

具体实施方式:

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体图示,进一步阐述本实用新型。

图1至图3所示,本实用新型所述的带有橡胶隔水层的晶体生长设备炉体壁内水道结构,它包括设有抽气口100的炉体1。其中,炉体通过内壁2和外壁3构成一水道层4,该水道层4中固定安置有复数条隔板5。每条隔板5分别由橡胶隔水层51和不锈钢隔水板52组合构成。橡胶隔水层51的宽度略宽于不锈钢隔水板52的宽度。复数条隔板5在内部2与外壁3之间螺旋环布,在炉体壁内形成螺旋向上的水道6。炉体一侧壁设有出水口7。炉体的底部设有进水口8。炉体顶部设有炉体上法兰9。炉体底部设有炉体下法兰10。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

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