[实用新型]测试探针台

说明书

技术领域

本实用新型涉及阵列测试的技术领域，特别是涉及一种测试探针台。

背景技术

一般在进行阵列测试时常采用双Pin(针)模式接触被测元件，其中一个Pin起测试作用，另一个Pin起定位作用。但是由于硬件特性限制，Pin数的上限是一定的，而且提高Pin数会降低Pin的重量和刚性，减少Pin的寿命，并增加成本。而低温多晶硅(LTPS，Low Temperature Poly-silicon)阵列中测试信号复杂，需要的通道较多，需求Pin针较多，现有的双Pin(针)模式仅一个Pin起测试作用，因此其Pin针利用率低下，且很难实现良好的状态监控。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种Pin针利用率高且实时监控、自动调整Pin针状态的测试探针台。

一种测试探针台，包括支架、测试针、距离传感器、图像传感器和控制器；

所述支架包括能够上下移动的第一支架和位于所述第一支架上方的第二支架；

所述测试针包括针本体和位于所述针本体端部的测试端，所述针本体固定在所述第一支架上，所述测试端伸出所述第一支架；

所述距离传感器与所述第一支架固定连接，用于测试所述第一支架与第二支架之间的距离；所述距离传感器与所述控制器通信连接；

所述图像传感器固定连接在所述第二支架上，所述图像传感器位于所述测试端的上方，所述图像传感器的视野覆盖所述测试针；所述图像传感器与所述控制器通信连接。

在其中一个实施例中，所述测试针的数量为多个，多个所述测试针并列设置。

在其中一个实施例中，所述图像传感器的视野至少覆盖其中一个所述测试针。

在其中一个实施例中，所述距离传感器的数量为多个，多个所述距离传感器与多个所述测试针一一对应。

在其中一个实施例中，所述距离传感器为激光传感器；所述图像传感器为电荷耦合器件。

在其中一个实施例中，所述支架还包括基座、升降架和固定架，所述升降架和所述固定架均固定在所述基座上；所述第一支架与所述升降架固定连接，所述升降架带动所述第一支架上下移动；所述第二支架与所述固定架固定连接。

在其中一个实施例中，所述支架还包括基座、升降架和固定架，所述升降架和所述固定架均固定在所述基座上；所述第一支架与所述升降架固定连接，所述升降架带动所述第一支架上下移动；所述第二支架与所述固定架固定连接。

在其中一个实施例中，所述针本体呈向下弯折的L型，所述测试端位于所述针本体的下方。

在其中一个实施例中，所述测试端呈长方体状，所述测试端靠近上方的面与所述针本体固定连接，所述测试端靠近下方的面平行于水平面。

在其中一个实施例中，所述针本体呈L型的两段均呈圆柱状。

上述测试探针台，通过设置图像传感器在水平的二维平面内实时监控测试针的压入位置，通过设置距离传感器在竖直方向实时监控测试针的压入量，测试探针台根据距离传感器和图像传感器的监控信息实现对测试针进行自动校准和位置调整。该测试探针台能实现实时监控、自动调整的同时，由于每一个测试针都能进行有效测试，从而提高了测试针的利用率。

附图说明

图1为一实施例测试探针台的示意图；

图2为图1所示测试探针台的第一支架的俯视图；

图3为图1所示测试探针台的第一支架的右视图。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对测试探针台进行更全面的描述。附图中给出了测试探针台的首选实施例。但是，测试探针台可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对测试探针台的公开内容更加透彻全面。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在测试探针台的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。

如图1所示，一实施方式的测试探针台100包括支架120、测试针140、距离传感器160、图像传感器180和控制器(图中未示出)。支架120包括能够上下移动的第一支架122和位于第一支架122上方的第二支架124。测试针140包括针本体142和位于针本体142端部的测试端144，同时参见图2，针本体142固定在第一支架122上，测试端144伸出第一支架122。在一实施例中，第一支架122上的测试针140是可更换的。