[实用新型]一种用于靶材基体粗糙度制造的喷砂装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于靶材基体粗糙度制造的喷砂装置，按国际专利分类表(IPC)划分属于靶材制造技术领域。

背景技术

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。而靶材的生产与制造是将对应粉末经高温熔化后喷涂在基体上，而所述基体应具有粗糙度大的表面用以有效附着熔化后的粉末材料，从而实现靶材的生产。

目前，针对基体表面粗糙度的处理一般采用人工处理，进而人工处理具有操作复杂，工作量大，粉尘大等等不足。

由此，本发明人考虑对现有的基体粗糙度制造设备进行改进，本案由此产生。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于靶材基体粗糙度制造的喷砂装置，其喷砂达到自动喷，喷砂完的砂粒自动进行分离，后经过筛分回到喷砂罐内，从而达到砂的回收再利用，从而降低成本。

为达到上述目的，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

一种用于靶材基体粗糙度制造的喷砂装置，该喷砂装置与靶材基体喷涂箱体配合使用，且喷砂装置包括喷枪及储沙罐，所述储沙罐具有喷砂出口，而喷枪位于靶材基体喷涂箱体内并固定在滑块上，而滑块与靶材基体喷涂箱体内壁上端的滑轨配合，形成喷枪的滑动喷涂结构，所述喷枪与喷砂出口之间通过喷砂管连通。

进一步，所述喷砂管包括硬管及软管，硬管一端与储沙罐上喷砂出口连通，而硬管另一端与靶材基体喷涂箱体上对应开口连通，所述软管一端与硬管另一端对接，软管另一端与喷枪连通；其中所述靶材基体喷涂箱体上对应开口是开设在靶材基体喷涂箱体上端的通孔。

进一步，所述喷砂装置还包括能喷砂过程中照明的照明灯具，该照明灯具能固定安装在靶材基体喷涂箱体内壁顶端，也可安装在滑块上，而本方案中照明灯具优选安装在滑块上能与喷枪同步滑动，进而实现实时照明。

进一步，所述喷枪下方设置有靶材基体的放置架，而该放置架为旋转放置架，其包括两个平行设置的滚轴，两滚轴由电机带动旋转，从而形成靶材基体旋转喷涂的旋转结构。

进一步，所述两滚轴同向旋转。

进一步，该喷砂装置还包括一砂回收结构

进一步，所述砂回收结构位于储沙罐上方并与储沙罐连通，该砂回收结构从上至下依次包括位于壳体内的分离组件及加压组件，所述加压组件位于储沙罐与壳体结合处，而所述分离组件位于加压组件上。

进一步，所述分离组件包括风机，该风机的出风口位于壳体内并与壳体内腔配合形成旋风分离结构；所述壳体上均开设砂回收口及分离除尘口，所述砂回收口与回收管连接，而该回收管与靶材基体喷涂箱体底端的出砂口连通，所述分离除尘口位于砂回收口上端并与除尘管连通，从而形成分离除尘结构。

进一步，所述风机的出风口优选套设一管道，用于配合风机出风形成漩涡流。

进一步，所述加压组件包括负压器及开关阀，所述负压器位于壳体内并用于将前述壳体内形成负压，进而实现靶材基体喷涂箱体沉积砂的吸出；所述开关阀位于壳体与储沙罐的结合处，从而形成控制开关结构。

与现有技术相比较，本实用新型的优点：

本实用新型将喷砂与砂回收结合于一体，有效替代了人工作业，同时喷砂完的砂粒进行分离，后经过筛分回到喷砂罐内，完成一套全自动功能，从而达到砂的回收再利用，从而降低成本。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图；

图2是图1侧视图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

实施例：请参阅图1及图2所示，一种用于靶材基体粗糙度制造的喷砂装置，该喷砂装置包括喷枪1及储沙罐2，所述储沙罐1具有喷砂出口11，而喷枪2位于靶材基体喷涂箱体3内并固定在滑块4上，而滑块4与靶材基体喷涂箱体内3壁上端的滑轨配合，形成喷枪的滑动喷涂结构，所述喷枪2与喷砂出口11之间通过喷砂管12连通；其中所述于靶材基体喷涂箱体3为带有控制柜机观察窗口的喷涂罐。

请参阅图1及图2所示，前述喷枪2下方设置有靶材基体的放置架5，而该放置架5为旋转放置架，其包括两个平行设置且同向旋转的滚轴，两滚轴由电机带动旋转，从而形成靶材基体旋转喷涂的旋转结构。

请参阅图1及图2所示，前述喷砂管12包括硬管及软管，硬管一端与储沙罐上喷砂出口11连通，而硬管另一端与靶材基体喷涂箱体上对应开口连通，所述软管一端与硬管另一端对接，软管另一端与喷枪2连通；其中所述靶材基体喷涂箱体3上对应开口是开设在靶材基体喷涂箱体上端的通孔。