[实用新型]一种新型焊管装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种新型焊管装置，属于半导体合成技术领域。

背景技术

半导体行业砷化镓合成需在密封的石英管中进行，石英管一般一段密封，一段开口以便于放置砷和镓，开口部分密封时需将石英管帽套进石英管中，在高温焊接区进行高温焊接。目前此工艺多采用氢、氧焊接，人工进行。此工艺的缺点是：1、人工操作不便，高温状态下，会对员工身体造成伤害；2、氢气易爆，操作不当会发生爆炸；3、石英管受热不均匀，会发生焊接不完全，石英管漏气的现象。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：为克服上述问题，提供一种安全进行半导体砷化镓合成的新型焊管装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种新型焊管装置，包括石英管，所述石英管的外壁上设置有电加热单元，所述电加热单元在所述石英管内形成高温焊管区，所述石英管内在高温焊管区里设置有石英管帽，所述石英管帽的边缘与所述石英管的内壁贴合，所述石英管的管口与卡套连接处设置有第一密封胶圈，所述卡套与真空机连通。

优选地，所述石英管帽与所述第一密封胶圈之间设置有滞移单元。

优选地，所述滞移单元为石英棒或石英卡套，并可移动。

优选地，所述卡套通过真空管与所述真空机连通，所述卡套与所述真空管连接处设置有第二密封胶圈。

优选地，电加热单元为电加热丝，所述电加热丝缠绕在所述石英管的外壁上。

本实用新型的有益效果是：本实用新型的装置进行砷化镓合成时可避免氢、氧焊接时发生意外爆炸；采用电加热方式不需近距离操作，且能使石英管受热均匀，保证操作员工安全及石英管气密性；还避免了大量氢、氧气体保存，消除隐性安全隐患；还采用两道密封胶圈，既保障石英管口在抽真空时不被损坏，又保障装置气密性良好；滞移单元保证石英管帽不偏离高温焊管区，有利于焊接操作；大大降低能源消耗，节约能源，降低成本，降低安全事故的发生率。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型一个实施例的主视图。

图中标记：1-石英管，2-石英管帽，3-电加热单元，4-第一密封胶圈，5-卡套，6-第二密封胶圈，7-真空管，8-真空机，9-滞移单元。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

如图1所示的本实用新型所述一种新型焊管装置，包括石英管1，所述石英管1的外壁上设置有电加热单元3，所述电加热单元3在所述石英管1内形成高温焊管区，本装置采用电加热的方式，安全并且石英管1受热均匀，保障石英管1内完全密封，防止砷泄漏，所述石英管1内在高温焊管区里设置有石英管帽2，所述石英管帽2的边缘与所述石英管1的内壁贴合，所述石英管1的管口与卡套5连接处设置有第一密封胶圈4，所述卡套5与真空机8连通，本装置改进了氢、氧气混合加热工艺，避免意外爆炸事故的发生，同时避免了人工焊接加热石英管1时可能造成受热不均匀，导致焊接不完全发生泄漏的问题。

在优选的实施方案中，所述石英管帽2与所述第一密封胶圈4之间设置有滞移单元9并可移动，便于放置石英管帽2，同时保证抽真空时石英管帽2不偏离高温焊管区。

在优选的实施方案中，所述滞移单元9为石英棒或石英卡套5，但不限定于此，还可以根据需要进行其他选择。

在优选的实施方案中，所述卡套5通过真空管7与所述真空机8连通，所述卡套5与所述真空管7连接处设置有第二密封胶圈6。

在优选的实施方案中，电加热单元3为电加热丝，所述电加热丝缠绕在所述石英管1的外壁上，但不限于电加热丝，还可以为其他加热装置。

本装置的操作步骤如下：

一、将石英管帽2放置于石英管1中，将石英管1放入卡套5内，打开真空机8逐渐将石英管1中的空气抽出；

二、抽真空时，石英管帽2随因为气压差移动，因此卡套5内的滞移单元9会阻止石英管帽2位移过大，影响焊接效果；石英管1开口以及装置卡套5里侧均设有密封胶圈，抽真空过程中无漏气发生；

三、石英管1和石英管帽2固定好后，打开电源，加热石英管1，石英管1中管内壁和石英管帽2的边缘紧紧贴住，当温度加热到1300～1350℃时，将两者焊接结实，石英管1内为密封状态，可进行砷化镓合成工艺。

以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。