[实用新型]低真空低温射频感性耦合等离子体反应器

权利要求书

1.一种低真空低温射频感性耦合等离子体反应器，其特征在于：包括两端用橡胶塞封住的石英玻璃管，所述石英玻璃管的上端连接有进气总管，所述进气总管分别连接有通入氩气的第一支管和通入反应气体的第二支管，所述第一支管和第二支管沿其进气方向上均依次设置有流量计和针阀，所述石英玻璃管的底部设置有与机械泵相连接的抽气管，所述石英玻璃管的底部还设置有可在石英玻璃管内上下移动的升降台，所述石英玻璃管的上部侧壁上缠绕有线圈，所述线圈与一射频电源相连接，所述射频电源与线圈之间还连接有用于调节阻抗的匹配器。

2.根据权利要求1所述的低真空低温射频感性耦合等离子体反应器，其特征在于：所述石英玻璃管侧壁上设置有固定铁夹，该固定铁夹的一端固定在一铁架台上。

3. 根据权利要求1所述的低真空低温射频感性耦合等离子体反应器，其特征在于：所述石英玻璃管内顶部还设置有气体导流栅。

4.根据权利要求1所述的低真空低温射频感性耦合等离子体反应器，其特征在于：所述匹配器上还有显示电容值的显示屏。

5.根据权利要求1所述的低真空低温射频感性耦合等离子体反应器，其特征在于：所述线圈上设置有对线圈进行降温的水冷系统，所述水冷系统包括套在线圈上的水管，所述线圈上设置有绝缘层，所述水管内流通有不断循环的冷却水。

6.根据权利要求1所述的低真空低温射频感性耦合等离子体反应器，其特征在于：所述抽气管上设置有真空计。

7.根据权利要求1所述的低真空低温射频感性耦合等离子体反应器，其特征在于：所述升降台包括一套设在石英玻璃管底部橡胶塞内的螺帽，所述螺帽内设置有相匹配的螺纹杆，所述螺纹杆在石英玻璃管内的端部设置有样品台，所述螺纹杆在石英玻璃管外的下部连接有无螺纹的竖杆，所述竖杆通过一旋紧螺帽固定连接在一套筒上。