[实用新型]一种高真空闸板阀

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种闸板阀，尤其涉及一种高真空闸板阀。

背景技术

闸板阀是一种很常用的截断阀，主要用来接通或截断流体或气路系统中的介质，一般不运用于调节介质流量。闸板阀运用的压力、温度及直径范围非常大，尤其运用于中、大直径的管道。例如，闸板阀被广泛应用在MOCVD设备领域中，由于国产MOCVD设备目前仍处于起步成长阶段，工艺和设备制造技术都不完善，不具备完善的功能及大规模产业化生产的能力。国产MOCVD设备涉及的闸板阀存在以下不足和缺陷：

1、一般平行式闸板阀因结构简单，不能靠自身达到强制密封效果，阀门关闭时，可能还存在反应气体的泄露，闸板阀密封效果差；

2、闸板阀即使达到了所需密封效果，但阀门开启和关闭运动过程中，阀门与阀座相接触的密封面之间存在相对滑动，容易对密封面造成擦伤，久而久之又反过来影响了密封效果；

3、闸板阀的结构功能不齐备，不具备产业化生产条件。

因此，如何设计一种密封效果好、减少密封面擦伤且生产功能完善的高真空闸板阀是业界亟待解决的技术问题。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提出一种能依靠自身结构达到高真空密封效果且阀门启闭过程中密封面间无摩擦碰撞的平行式高真空闸板阀。

本实用新型采用的技术方案是，设计一种高真空闸板阀，包括：阀体，所述阀体内设有空腔，阀体的前后两侧壁平行并设有阀孔；阀门，所述阀门配合设于阀体的空腔内，阀门由连接板、设于连接板上的主板和副板构成，主板、副板分别与阀体的前、后两侧壁平行，主板底端与连接板固定，副板底端与连接板之间设有支撑弹簧，所述主板与副板之间通过至少一个铰接轴铰接，铰接轴的两端分别横向铰接于主板、副板上，所述铰接轴在垂直面内转动；动力装置，所述动力装置连接于连接板下方；所述副板尺寸大于阀体后侧壁上的阀孔，所述副板上设有与该阀孔外圈侧壁配合的密封圈，阀体的顶端设有可容纳主板升降的缺口，所述动力装置推动连接板向上运动至副板的密封圈与所述阀孔外圈的侧壁紧贴。

所述副板顶面设有副滚轮，所述副滚轮可沿阀体内顶壁前后滚动；所述主板前侧上设有主滚轮，所述主滚轮可沿阀体内前侧壁上下滚动。

所述阀体顶部一侧设有连通阀体内的氮气吹扫进气口。

所述主板与副板之间设有两个平行的铰接轴铰接。

所述动力装置为气缸。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

1、通过主板与副板之间的铰接结构，气缸推动连接板向上运动，副板接触到阀体顶端时，主板被继续向阀体缺口上推动，副板与连接板之间的弹簧被压缩，铰接轴在主、副板间相对转动，产生一个将副板向阀体压紧的力，使阀门紧密贴合在阀体上，达到高真空密封效果。

2、阀门运动时，通过滚轮与阀体接触，从而减少阀门与阀体间的磨损。

3、增加一个氮气吹扫进气口，保证基片的洁净度。

附图说明

下面结合实施例和附图对本实用新型进行详细说明，其中：

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是阀门关闭的第一阶段示意图；

图3是图2中A的局部放大图；

图4是阀门关闭的第二阶段示意图；

图5是图4中B的局部放大图。

具体实施方式

如图1所示，本实用新型提出的高真空闸板阀，包括：阀体1、阀门及动力装置。

阀体1内设有空腔，阀体1的前后两侧壁平行并设有阀孔。阀门配合设于阀体的空腔内，阀门由连接板2、设于连接板2上的主板3和副板4构成，主板3、副板4分别与阀体1的前、后两侧壁平行，主板3底端与连接板2固定，副板4底端与连接板2之间设有支撑弹簧，在弹簧的弹力作用下，副板4可以在垂直方向上保持平衡状态。主板3与副板4之间通过至少一个铰接轴5铰接，铰接轴5的两端分别横向铰接于主板3、副板4上，铰接轴5在垂直面内转动。副板4尺寸大于阀体1后侧壁上的阀孔，副板4上设有与该阀孔外圈侧壁配合的密封圈，阀体1的顶端设有可容纳主板3升降的缺口9。动力装置连接于连接板下方。本实施例中，为了增强结构可靠性及铰接轴5对副板4的压力，主板3与副板4之间设有两个平行的铰接轴5铰接。其中，动力装置为气缸10，气缸10推动连接板2向上运动至副板4与阀孔外圈的侧壁紧贴。