[实用新型]一种分光膜及分束镜

说明书

技术领域

本实用新型涉及光学设备领域，特别是涉及一种分光膜。本实用新型还涉及一种分束镜。

背景技术

光学薄膜是指由薄的分层介质构成，通过界面传播光束的一类光介质材料。分光膜是光学薄膜的一种，是根据一定的要求和一定的方式把光束分成两部分的薄膜。分光膜包括波长分光膜、光强分光膜和偏振分光膜等几类。

光强分光膜是按照一定的光强比把光束分成反射光和透射光两部分的薄膜。目前，在光学仪器中使用的光强分光膜，其分光波长范围位于可见光波段。

随着高精度光学设备的应用日益广泛，光学仪器所涉及的光谱范围逐渐由可见光波段延伸至近红外波段。而光强分光膜的分光波长范围位于可见光波段，分光波长范围较窄，其分光波长范围不涉及近红外波段，从而限制了分光膜在光谱范围涉及可见光到近红外波段的光学仪器中的应用。

实用新型内容

本实用新型提供一种分光膜，可实现对可见光到近红外波段光的分光。本实用新型还提供一种分束镜。

本实用新型提供一种分光膜，所述分光膜为由第一高折射率材料Ti3O5膜层、第一低折射率材料Al2O3膜层、金属材料Ag膜层、第二低折射率材料Al2O3膜层和第二高折射率材料Ti3O5膜层依次贴合而成的多层分光膜。

可选地，所述分光膜的膜系结构为：/α1Hβ1LγAgβ2Lα2H/；

式中：H表示光学厚度为λ/4的高折射率材料Ti3O5膜层，L表示光学厚度为λ/4的低折射率材料Al2O3膜层，Ag表示金属材料Ag膜层，λ为中心波长，α1、β1、γ、β2和α2为光学厚度的比例系数。

可选地，α1为1.331，β1为0.7513，β2为0.3522，α2为0.327。

可选地，所述第一高折射率材料Ti3O5膜层的物理厚度为77nm，所述第一低折射率材料Al2O3膜层的物理厚度为63.73nm，所述金属材料Ag膜层的物理厚度为11.01nm，所述第二低折射率材料Al2O3膜层的物理厚度为29.87nm，所述第二高折射率材料Ti3O5膜层的物理厚度为18.92nm。

本实用新型所提供的一种分光膜，为由第一高折射率材料Ti3O5膜层、第一低折射率材料Al2O3膜层、金属材料Ag膜层、第二低折射率材料Al2O3膜层和第二高折射率材料Ti3O5膜层依次贴合而成的多层分光膜。金属材料Ag膜层位于所述分光膜的中间层，第一低折射率材料Al2O3膜层和第一高折射率材料Ti3O5膜层依次叠加于金属材料Ag膜层的一侧，第一低折射率材料Al2O3膜层和第一高折射率材料Ti3O5膜层依次叠加在金属材料Ag膜层的另一侧。当入射光照射于所述分光膜时，发生反射和折射，形成反射光和透射光。由于金属材料Ag膜层对可见光到近红外波段光均具有较高的反射率，并通过高低折射率材料叠加形式实现膜层的折射率匹配，从而使所述分光膜对可见光到近红外波段光均能形成反射光和透射光，所以可实现对可见光到近红外波段光的分光。

本实用新型还提供一种分束镜，包括入射镜片、出射镜片和夹于所述入射镜片和所述出射镜片之间的分光膜，所述分光膜为以上所述的分光膜。

可选地，所述入射镜片和所述出射镜片为直角棱镜，所述分光膜夹于所述两块直角棱镜的斜面之间。

可选地，所述直角棱镜为45度等腰直角棱镜。

可选地，所述入射镜片和所述出射镜片为同质的玻璃镜片。

可选地，所述入射镜片通过光胶技术与所述出射镜片粘合。

可选地，所述第一高折射率材料Ti3O5膜层、所述第一低折射率材料Al2O3膜层、所述金属材料Ag膜层、所述第二低折射率材料Al2O3膜层和所述第二高折射率材料Ti3O5膜层采用电子束蒸发依次蒸镀于所述入射镜片上。

本实用新型提供的一种分束镜，包括入射镜片、出射镜片和夹于所述入射镜片和所述出射镜片之间的分光膜，所述分光膜为以上所述的分光膜。当入射光照射到入射镜片，入射光经所述分光膜发生反射和折射，形成反射光和透射光。所述分光膜使分束镜可对可见光到近红外波段光实现分光。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的一种分光膜的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的一种分光膜经测试得到的透射光谱曲线；

图3为本实用新型实施例所提供的一种分束镜的结构示意图。

具体实施方式

本实用新型提供一种分光膜，对可见光到近红外波段光具有较好的分光效果。本实用新型还提供一种分束镜。