[实用新型]用于电子级六氟乙烷中微量杂质分析的气相色谱仪

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种气相色谱仪，特别是公开一种专门针对电子级六氟乙烷中微量杂质分析的检测设备，利用PDD检测器的高灵敏度检测六氟乙烷中ppb级别的杂质，特别解决了六氟乙烷中三氟一氯甲烷（R13）分析的难点，实现了电子级六氟乙烷中微量杂质的全分析。

背景技术

六氟乙烷又称全氟乙烷，是乙烷中六个氢原子全部被氟原子取代后的产物，其又名氟碳116（R116）。六氟乙烷为无色无嗅无味不可燃的无毒气体，基本不溶于水，微溶于醇，其物理化学性质稳定。

六氟乙烷主要应用在低温制冷与电子清洗及蚀刻行业，另外少部分应用在医学手术中及其它新开发的领域。随着半导体产业的发展，整个电子工业对电子气体气源纯度的要求也越来越高，对于电子级六氟乙烷中的杂质测量分析也越来越重要。然而我国目前尚未制定关于电子级六氟乙烷的相关标准，由于相关检测方法和标准的缺失，国内厂商和用户对于六氟乙烷的质量存在盲点，对生产使用造成了很大影响。

发明内容

本实用新型的目的是解决现有技术出现的问题，设计一种用于电子级六氟乙烷中微量杂质分析的气相色谱仪，利用中心切割方法解决了了六氟乙烷中R13的分析难点，实现一次进样操作可以完成六氟乙烷中无机杂质（H₂、O₂+Ar、N₂、CO₂、CO）和卤代烃杂质（R14、R13、R115、R23、R143a、R113等）的色谱分析杂质的分析，并且利用氦离子化检测器的高灵敏度检测限达到ppb级别。

本实用新型是这样实现的：用于电子级六氟乙烷中微量杂质分析的气相色谱仪，其结构包括进样系统，切换阀，色谱柱，放空针阀和检测器，其特征在于：所述气相色谱仪的第一切换阀1上设有第一定量管8和第二定量管9，第二切换阀2上设有第一针阀24和第二针阀25，第三切换阀3上设有第三针阀26、第四针阀27和第一检测器PDD1  6，第四切换阀4上设有第四色谱柱14和第三定量管10，第五切换阀5上设有第五针阀28、第六针阀29和第二检测器PDD2  7；第一切换阀1和第二切换阀2之间由所设的第一色谱柱11连接，第二切换阀2和第三切换阀3之间由所设的第二色谱柱12连接，第一切换阀1和第三切换阀3之间由所设的第三色谱柱13连接，第四切换阀4和第五切换阀5之间由所设的第五色谱柱15和第六色谱柱16连接。

作为优选，所述气相色谱仪的第一载气19气路与第一切换阀1的④号接口连接、第二载气20的气路与第一切换阀1的⑨号接口连接；样品进口17与第一切换阀1的①号接口连接，第一切换阀1的②号接口和第四切换阀4的①号接口连接；第一切换阀1的⑦号接口与第一切换阀1的⑩号接口连接的管路上设有第一定量管8,第一切换阀1的③号接口与第一切换阀1的⑥号接口连接的管路上设有第二定量管9；第一切换阀1的⑤号接口和第二切换阀2的⑤号接口连接的管路上设有第一色谱柱11；第一切换阀1的⑧号接口和第三切换阀3的④号接口连接的管路上设有第三色谱柱13。

作为优选，所述气相色谱仪的第三载气21气路与第二切换阀2的①号接口连接；第一针阀24与第二切换阀2的④号接口连接，第二针阀25与第二切换阀2的②号接口连接；第二切换阀2的⑥号接口与第三切换阀3的⑥号接口连接的管路上设有第二色谱柱12。

作为优选，所述的第三针阀26与第三切换阀3的③号接口连接，第四针阀27与第三切换阀3的①号接口连接；第一检测器PDD1  6与第三切换阀3的⑤号接口连接。

作为优选，所述气相色谱仪的第四载气22气路与第四切换阀4的④号接口连接、第五载气（23）气路与第四切换阀4的⑦号接口连接，样品出口18与第四切换阀4的②号接口连接；第四切换阀4的③号接口与第四切换阀4的⑩号接口连接的管路上设有第三定量管10；第四切换阀4的⑤号接口与第四切换阀4的⑨号接口连接的管路上设有第四色谱柱14；第四切换阀4的⑥号接口与第五切换阀5的⑥号接口连接的管路上设有第五色谱柱15，第四切换阀4的⑧号接口与第五切换阀5的④号接口连接的管路上设有第六色谱柱16。

作为优选，所述的第五针阀28与第五切换阀5的①号接口连接，第六针阀29与第五切换阀5的③号接口连接；第二检测器PDD2  7与第五切换阀5的⑤号接口连接。

作为优选，所述的第一切换阀1和第四切换阀4为十通吹扫气动切换阀，第二切换阀2、第三切换阀3、第五切换阀5为六通吹扫气动切换阀。