[实用新型]一种显微镜物镜

说明书

技术领域

本发明属于光学领域，更具体地说，涉及一种显微镜物镜。

背景技术

显微镜已成为很多行业研究必不可少的高科技设备，在一些精密微型领域广泛应用，特别在医疗和科研等中具有不可替代的作用。

数值孔径(NA)与显微镜的其它各个光学参数都有密切关系，一般希望它越大越好，因此提高数值孔径(NA)的大小也是科技发展的需求；目前世界上已有各类显微镜物镜，但是目前技术上能达到的数值孔径(NA)一般保持在0.65左右，能够达到更大数值孔径(NA)的也只有少数；随着科技的发展，目前很多领域开始对更大数值孔径(NA)的显微镜物镜需求增大，因此提高显微镜物镜的数值孔径(NA)具有必要的意义。

申请号为CN201280008900.X的中国专利公开了一种物镜及光拾取装置，其中所述的物镜用于光拾取装置，所述光拾取装置至少具有射出第一波长λ1(390nm<λ1<420nm)的第一光束的第一光源和物镜，通过所述物镜将从所述第一光源射出的所述第一波长λ1的第一光束聚光在第一光盘的信息记录面上，由此进行信息的记录和/或再生，所述物镜具有：第一光学面，其形成于所述第一光源侧；第二光学面，其面向所述第一光学面而形成，且曲率半径大于所述第一光学面；端面，其是从光轴方向观察时位于所述第二光学面外侧且与光轴大致垂直的平面，所述物镜的像侧数值孔径(NA)为0.7以上、0.9以下。尽管对于现有的技术其数值孔径有所提高，但是其数值孔径仍然不能满足一些领域的需求，同时制造成本高。

申请号为CN201410076527.2的中国专利公开了一种大视场高数值孔径的i-line光刻机投影物镜，该物镜共轭距L＝1500mm，镜片分为四组独立设计再整合优化。尽管采用了双远心、25片4组结构，其中使用了5个低阶非球面来平衡像差，但物镜的像方有效视场为132×132mm，像方数值孔径为0.17。

发明内容

针对多领域对更大数值孔径(NA)的显微镜物镜需求，本发明提供一种显微镜物镜，可实现高数值孔径(NA)，以满足目前各领域的需要。

为了解决上述问题，本发明所采用的技术方案如下：

一种显微镜物镜，包括同光轴设置的十四片球面透镜，从物方至像方依次排列，第一透镜、第二透镜和第三透镜组合为第一胶合透镜组，其中第一透镜面向物方为平面，面向像方为凸面；第二透镜面向物方为凹面，面向像方为凸面；第三透镜面向物方为凹面，面向像方为凸面；所述第一透镜的凸面与第二透镜的凹面、第二透镜的凸面与第三透镜的凹面胶合在一起；第四透镜面向物方为凹面，面向像方为凸面；第五透镜面向物方为凸面，面向像方为凸面；第六透镜和第七透镜组合为第二胶合透镜组，其中第六透镜面向物方为凸面，面向像方为凹面；第七透镜面向物方为凸面，面向像方为凸面；所述第六透镜的凹面与第七透镜的凸面胶合在一起；第八透镜和第九透镜组合为第三胶合透镜组，其中第八透镜面向物方为凸面，面向像方为凹面；第九透镜面向物方为凸面，面向像方为凸面；所述第八透镜的凹面与第九透镜的凸面胶合在一起；第十透镜和第十一透镜组合为第四胶合透镜组，其中第十透镜面向物方为凸面，面向像方为平面；第十一透镜面向物方为平面，面向像方为凹面；所述第十透镜的平面与第十一透镜的平面胶合在一起；第十二透镜面向物方为凹面，面向像方为凹面；第十三透镜和第十四透镜组合为第五胶合透镜组，其中第十三透镜面向物方为凸面，面向像方为凸面；第十四透镜面向物方为凹面，面向像方为凹面；所述第十三透镜的凸面与第十四透镜的凹面胶合在一起。

上述十四个透镜共有二十二个镜面，第一透镜面向物方的平面为第一镜面，第一透镜和第二透镜的胶合面为第二镜面，第二透镜和第三透镜的胶合面为第三镜面，第三透镜面向像方的凸面为第四镜面，第四透镜的凹面为第五镜面，第四透镜的凸面为第六镜面，第五透镜面向物方的凸面为第七镜面，第五透镜面向像方的凸面为第八镜面，第六透镜面向物方的凸面为第九镜面，第六透镜和第七透镜的胶合面为第十镜面，第七透镜面向像方的凸面为第十一镜面，第八透镜面向物方的凸面为第十二镜面，第八透镜和第九透镜的胶合面为第十三镜面，第九透镜面向像方的凸面为第十四镜面，第十透镜面向物方的凸面为第十五镜面，第十透镜和第十一透镜的胶合面为第十六镜面，第十一透镜面向像方的凹面为第十七镜面，第十二透镜面向物方的凹面为第十八镜面，第十二透镜面向像方的凹面为第十九镜面，第十三透镜面向物方的凸面为第二十镜面，第十三透镜和第十四透镜的胶合面为第二十一镜面，第十四透镜面向像方的凹面为第二十二镜面；二十二个镜面的结构参数见下表：