[实用新型]一种液晶玻璃基板连续加工的洁净冷却装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种液晶玻璃基板生产加工技术领域，尤其涉及一种液晶玻璃基板连续加工的洁净冷却装置。

背景技术

玻璃基板是构成液晶显示器件的一个基本部件，其占液晶面板总成本的17％左右，是最为娇贵的部件之一，运输加工难度大，如果表面被划伤、腐蚀，则会造成器件报废。因此，全球TFT-LCD的玻璃基板供应中有99％以上的份额集中在美国康宁、日本旭硝子等几大厂商手中。

在对玻璃基板的加工过程中，需要进行多次的烘烤，再冷却的操作，如从前道设备加热处理温度100℃出来，到下一道设备入口需要温度降到23℃±1℃，在两道工序的衔接过程中，需要通过冷却装置降温至符合加工要求的适合温度。目前，常用的运送方式有①输送带式，②机械手夹持式，③空气悬浮式，无论是选用任何一种运送方式，必须满足无灰尘、高精度、温度精准等几点要求，否则将造成玻璃基板的损伤。而冷却装置，采用一步冷却的方法，即对加热的玻璃基板一次冷却，由于玻璃基板的尺寸越来越向薄、大方向发展，一次冷却工艺，很容易因冷却不均匀，温度控制不佳等技术问题，导致玻璃基板弯曲或翘边等不良品现象，严重者可能造成破片。

因而，提高冷却时的均匀性及温度可控性是解决上述问题的关键因素，中国实用新型专利公开了《一种玻璃基板用的物理钢化炉》(CN 202626022U)，冷却腔室包括由两个分隔板形成、且分别设置冷却机构的急速冷却、缓慢冷却区及喷雾冷却区，通过三步冷却，克服生产中存在的问题。然而，①采用直吹风冷的冷却方式，在与不在出风口下方的风差还是存在的，冷却均匀不能得到良好的保证；②后段需采用喷雾区冷却，在玻璃基板上流下水滴，因此必须通过干燥腔室来去除残留的水气后输出，工序及设备反而增加，提高控制温度、环境的难度以及加工成本；③首段冷却区为急速冷却区，对在高温状态下的玻璃基板热变形度有一定影响，同时风冷装置吹出的风会对玻璃基板产生污染，对加工环境的洁净程度无法控制，有损于玻璃基板的后期性能。

发明内容

本实用新型目的是提供一种液晶玻璃基板连续加工的洁净冷却装置，通过结构的改良，提高冷却均匀性，减少热变形产生，保证加工环境的洁净度，提升产品性能，简化工序，缩短加工时间。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种液晶玻璃基板连续加工的洁净冷却装置，自入口至出口依次包括常温冷却单元、低温冷却单元以及位于两者下方的玻璃基板输送带，其中：

所述常温冷却单元包括第一壳体、第一风机及第一过滤器，所述第一壳体上设有入风口，所述第一过滤器设置于该入风口处，对应玻璃基板输送带侧第一壳体上设有若干个出风口组合，包括沿输送方向布置至少一组第一斜向风口及复数组垂直风口，所述第一斜向风口的倾斜方向为所述玻璃基板输送方向；

所述低温冷却单元包括第二壳体、第二风机、冷却装置及第二过滤器，所述第二壳体上设有入风口，入风口对应所述冷却装置的入口，所述第二过滤器设置于该入风口处，所述冷却装置的出口与所述第二风机入口连接，第二风机出口与第二壳体的出风口连通，所述第二壳体的出风口对应玻璃基板输送带侧布置，包括逆向于输送带前进方向布置的至少一组第二斜向风口及沿输送带前进方向布置的若干组第三斜向风口。

上述技术方案中，所述第一过滤器为第一粗效过滤器，所述第一风机与第一壳体的出风口之间设有第一高效过滤器。

上述技术方案中，所述第二过滤器为第二粗效过滤器，所述冷却装置与所述第二风机之间设有滤芯，所述第二风机与第二壳体的出风口之间设有第二高效过滤器。

上述技术方案中，所述第一、第二及第三斜向风口的倾斜角度为45°±10％。

进一步的技术方案是，所述第一、第二及第三斜向风口为条缝型风口，其风量第一斜向风口为600m³/min，风压为120～150Pa，第二、第三斜向风口为200m³/min，风压为50～60Pa。

上述技术方案中，所述常温冷却单元的入口前端设有伸缩门，所述伸缩门与常温冷却单元之间设置有排气通道。