[实用新型]一种单晶炉二次增料装置

说明书

技术领域

本实用新型属于单晶硅制造装置，尤其涉及一种单晶炉二次增料装置，。 

背景技术

目前，单晶炉是单晶硅组件生产过程中的主要生产设备，各单晶生产厂商主要采用二次增料技术来提高单晶炉的生产效率。国内虽然在单晶炉二次增料装置方面取得了一定的效果。但是在长期的生产应用过程中这些装置都有不同程度的缺陷，如附图1所示的一种块状硅料增料装置结构示意图，其在生产过程中由于硅料之间、硅料与装置内部的部件之间存在摩擦力，落料时，硅料容易卡壳，甚至硅料卡住拉杆，致使底部锥面与外筒之间不能形成间隙，块状硅料不能实现下落，还有硅料实现落料的过程中，拉杆底部锥面会被下面熔融硅料的高温所氧化而污染硅料，从而影响拉晶工艺或硅棒质量等问题。 

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种单晶炉二次增料装置，其结构新颖，设计紧凑，有效的解决了原有单晶炉二次增料装置硅料卡壳和硅料污染的问题。 

为了达到上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：一种单晶炉二次增料装置，其包括提拉杆、固定圈、支撑圈、外筒，其特征在于：所述的支撑圈和下环与外筒相连接，内筒连接在下环上，固定圈分别与外筒和内筒相连接，提拉头和提拉杆都连接在 上环上，拉杆与上环相连接，连杆与拉杆用销钉连接，短拉杆的两端采用球副机构分别与连杆和花瓣连接，花瓣利用活页连接在内筒上。 

附图说明

图1为原单晶炉二次增料装置的结构示意图； 

图2为原单晶炉二次增料装置的结构示意图；

图3为本实用新型的主视图；

图4为本实用新型的左视图。

图中1. 花瓣， 2. 短拉杆， 3. 连杆， 4. 支撑圈， 5. 外筒， 6. 拉杆， 7. 活页， 

8. 固定圈， 9. 下环， 10. 上环， 11. 提拉头， 12. 提拉杆， 13. 内筒。

具体实施方式

本实用新型的有益效果是：本实用新型采用三个花瓣替代原有的圆筒、并将拉杆外置等结构技术特点后，消除了硅料与拉杆之间的摩擦力，而且花瓣打开时可形成上面口径小、下面口径大的喇叭状，此种结构有利于块状硅料的快速下降 ，从而解决硅料卡壳现象；利用硅饼代替金属底盖后，硅饼受到底下高温的熔融硅料后不会污染石英坩埚内的硅料，可以降低对硅料的污染而提高单晶硅棒的品质。 

下面结合具体实施例对本实用新型作进一步的解释。 

如附图3、4所示的一种单晶炉二次增料装置，其包括提拉杆、固定圈、支撑圈、外筒，所述的支撑圈4 和下环9与外筒5相连接，内筒 13 连接在下环9上，固定圈8分别与外筒5和内筒13相连接，提拉头 11和提拉杆 12 都连接在上环10 上，拉杆 6 与上环10相连接，连杆3与拉杆6用销钉连接，短拉杆2 的两端采用球副机构分别与连杆3和花瓣1连接，花瓣 1利用活页7连接在内筒13上。 

工作原理是：装料时，沿竖直方向提起提拉头 11 ，三个相同的花瓣 1 闭合时成筒状，同时将与花瓣半径相同的圆形硅饼置于花瓣1的底部，硅饼受到花瓣 1底部弧度的支持而静止，硅饼、闭合花瓣筒和内筒组成一个底部封闭上面开口的容器，接着将块状硅料由相邻两个提拉杆 12 之间加入内筒，实现二次增料装置的装料；落料时，提起提拉头 11 至单晶炉内，使支撑环 4 与单晶炉内相匹配的位置接触，松开提拉头11 ，花瓣1 打开并呈现出喇叭状，硅饼和块状硅料一起落入单晶炉的石英坩埚内， 实现单晶炉的二次增料。  

     对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型，对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。