[实用新型]新型源瓶

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种新型源瓶，尤其涉及一种晶体硅太阳能电池扩散工序用源瓶。

背景技术

多晶太阳能电池片的生产流程中扩散工艺的主要目的就是进行磷掺杂，形成P-N结。在扩散工艺过程中，源液存放在源瓶中，携带气体在源瓶中通过并携带一定量的源液到扩散炉管内进行工艺。扩散工艺产品的一个重要质量控制点就是方块电阻（下简称为方阻），而方阻与携带气体携带的源液量有着密切的联系，而携带气体携带的源液量又受源瓶中的源液量限制。由于三氯氧磷具有剧毒特性，在使用和更换过程中必须遵循严格的操作顺序，源瓶打开阀门的时候，必须先手动打开出气管，再打开进气管；关闭阀门时，必须先关闭进气管，再关闭出气管。如果顺序开反，极易造成石英源瓶被携带气体撑爆，造成极大危害。

实用新型内容

本实用新型设计了一种新型源瓶，实现了对源瓶液位的控制，提高了源液利用率，改变善阀门机构，提高运行安全性。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

本实用新型公开了一种新型源瓶，包括外瓶与阀门两部分组成。所述外瓶包括进气管、出气管、热电偶管、源液灌装口（源瓶使用时密闭）、瓶体阀门接头、出液口、液位控制管、储液区；所述阀门包括阀门进气管、阀门出气管、阀门塞；所述阀门同时控制出气管和进气管的开闭；所述阀门通过紧固卡套固定在瓶体阀门接头上；所述液位控制管可以存储储液区少量剩余液体。

采用上述技术方案所产生的有益效果在于：液位始终保持相对稳定，携带气体携带源液量保持稳定，保证工艺运行条件的稳定。通过一个阀门同时控制出气管和进气管的开闭，保证开启顺序的正确，避免员工误操作造成的安全事故。

附图说明

图1是该新型源瓶的结构示意图；

图2是阀门的结构示意图；

图3是新型源瓶的俯视图；

如图所示：1、进气管 2、出气管 3、热电偶管 4、源液灌装口 5、阀门进气管 6、阀门出气管 7、阀门塞 8、阀门 9、瓶体阀门接头 10、出液口 11、液位控制管 12、储液区 13、外瓶。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

如图1、图2、图3所示，在使用时携带气体经进气管1进入液位控制管11，携带一定源后经出气管2流出。储液区12中的源液经出液口10流入液位控制管11，当液位控制管11中的液位没过出液口10后，由于气体无法再进入储液区12，在压强差异下，储液区12中源液不在流出，使用一段时间后，液位控制管11中的液位降到出液口10以下，气体可以经出液口10进入储液区12，储液区12中源液流出，再次没过出液口10后，源液停止流出，以此达到控制源液在一个比较稳定的液位，保证携带气体携带的源量稳定。源瓶使用过程中，储液区12中的源液可全部使用完，最后只剩液位控制管11中的小部分无法用完，相对原有源瓶，大大提高了源液的利用率，减少了浪费。

阀门8使用时，通过紧固卡套固定在瓶体阀门接头9上，进气管1、出气管2插入到阀门8中相应的气孔。当阀门塞7上移，上移过程中阀门出气管6先打开，阀门塞7继续上移，阀门进气管5打开；当阀门塞7下移，下移过程中阀门出气管5先关闭，阀门塞7继续下移，阀门出气管6关闭，保证进气和出气的开启顺序。

需要说明的是，上述仅仅是本实用新型的较佳实施例，并非用来限定本实用新型的保护范围，在上述实施例的基础上所作出的等同变换均属于本实用新型的保护范围。