[实用新型]一种真空隔离阀

权利要求书

1.一种真空隔离阀，包括阀体（1）、阀盖（2）、阀芯（3）、阀杆（4），所述阀盖（2）连接在阀体（1）上方，所述阀芯（3）滑动连接在阀体（1）腔体内部，所述阀杆（4）贯穿阀盖（2），一端与阀芯（3）固定连接在一起，所述阀体（1）包括：限位板（1a）、管道（1b）、阀柱（1c），所述阀柱（1c）连接在管道（1b）上表面，限位板（1a）则连接在管道（1b）下表面，其特征在于：所述阀杆（4）外还包覆有一个波纹管（5），波纹管（5）两端分别与阀盖（2）和阀芯（3）密封连接；

所述阀杆（4）与阀盖（2）之间设置机械密封；

所述阀体（1）与阀盖（2）之间采用固定连接；

所述阀柱（1c）和限位板（1a）与管道（1b）均采用固定连接；

所述阀芯（3）与阀体（1）之间设置内密封。

2.根据权利要求1所述的一种真空隔离阀，其特征在于：所述阀体（1）与阀盖（2），阀柱（1c）和限位板（1a）与管道（1b）采用的固定连接方式为焊接。

3.根据权利要求2所述的一种真空隔离阀，其特征在于：所述焊接时候采用的温度为650℃以上，所述焊接时使用的焊丝含锡为50%。

4.根据权利要求1所述的一种真空隔离阀，其特征在于：所述阀杆（4）与阀盖（2）之间设置机械密封为：所述阀盖（2）中心位置设有内螺纹，阀杆（4）的外圆表面设有外螺纹，所述阀盖（2）和阀杆（4）通过内外螺纹配合的方式配合密封在一起。

5.根据权利要求1所述的一种真空隔离阀，其特征在于：所述阀芯（3）与阀体（1）之间设置内密封为：所述在阀芯（3）与阀体（1）的接触面上均堆焊有一层合金层，并在合金层外喷涂一层涂层，主要成分为铜、铬、钼。

6.根据权利要求1所述的一种真空隔离阀，其特征在于：所述波纹管（5）两端分别与阀盖（2）和阀芯（3）的密封连接结构为：所述波纹管（5）两端分别设有外螺纹，所述阀盖（2）的下表面和阀芯（3）的上表面分别设有内外螺纹，所述波纹管（5）通过螺纹连接在阀盖（2）和阀芯（3）上，其次在采用焊接的方式对波纹管（5）与阀盖（2）和阀芯（3）的连接处固定。