[实用新型]二极管用混合酸自动循环搅拌装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及二极管的酸洗工序，尤其涉及一种OJ（Open Junction）二极管用混合酸自动循环搅拌装置。

背景技术

当前，国内Open Junction二极管制造过程中使用混合酸（即混合酸液）进行酸洗，混合酸有4种较高高浓度的酸构成：硫酸-98%，比重1.84g/cm3，发烟硝酸-70.5%，比重1.605g/cm3，氢氟酸-49%，比重1.2g/cm3，冰乙酸-99%，比重1.04g/cm3；然而，在操作过程中，存在以下问题：

1）、发烟硝酸易挥发，因此，需要密闭容器防止挥发对生产车间的污染；

2）、密闭容器一般安装在远离设备的位置，不利于操作；

3）、不同比重的酸液在静止状态时会出现沉淀分层，产生对芯片不一致的腐蚀效果；因此，影响Open Junction二极管品质的一致性；

静止状态时表现为：

①混合酸未经搅拌，直接从注酸口10注入到生产治具时，长时间处于静止状态；

②混合酸经搅拌后，处于长时间的备用状态；

    4）、使用叶轮式搅拌装置会产生对容器密闭性的破坏，产生对空气的污染，同时，形成对酸液的二次污染；

    5）、混合酸的温度具有严格的要求，控制合理。

实用新型内容

本实用新型针对以上问题，提供了一种结构简单，有效避免酸液沉淀分层、挥发，保证了容器密闭性的二极管用混合酸自动循环搅拌装置。

    本实用新型的技术方案是：所述混合酸设在密闭容器内，所述密闭容器的底面连通设有注酸管；

所述自动循环搅拌装置包括耐酸泵、循环管、自动控制器和液位控制器，所述循环管包括管体一和管体二，所述管体一具有进酸口和接口一，所述管体二具有出酸口和接口二，

所述进酸口连接在所述密闭容器的底面，所述出酸口连接在所述密闭容器的顶面，所述接口一和接口二分别连接所述耐酸泵的进、出液口；

所述自动控制器包括时间继电器，

所述液位控制器包括光电耦合器、浮球和标杆，

所述浮球设在所述混合酸的液面上，所述标杆垂直设在所述浮球上，所述光电耦合器设在所述密闭容器上，所述标杆触发所述光电耦合器动作；

所述时间继电器的一端通过耐酸泵开关与所述所述耐酸泵电连接，另一端连接与所述光电耦合器。

    所述耐酸泵为电磁泵。

所述光电耦合器设在所述密闭容器的顶面，所述密闭容器的顶面上设有通孔，所述标杆适配的设在所述通孔内。

本实用新型将密闭容器内的混合酸，通过耐酸泵、循环管（管体一和管体二）引出密闭容器体外形成循环搅拌回路，管体二的出酸口设在密闭容器内部上方，酸液循环搅拌过程中，酸液从出酸口注入，达到对混合酸的搅拌功能，有效地防止了混合酸的分层沉淀；同时，通过在密闭容器内酸液注入的间接搅拌方式，防止了酸液挥发对空气的污染；

自动控制器周期性开关耐酸泵，延长了循环搅拌回路的路径，达到平衡酸液温度的目的，同时，防止了耐酸泵持续工作时散发的热量对酸液温度的影响；

自动控制器受液位控制器控制，在酸液耗尽时，自动关闭自动控制器的电源，避免了耐酸泵由于空转而被烧毁。

本实用新型通过混合酸体外周期性自动循环搅拌式流动，防止了酸液的沉淀分层，保证了密闭容器的密闭性，避免了酸液温度受循环搅拌过程的影响。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

    图中1是注酸管，10是注酸口，2是耐酸泵，3是浮球，4是光电耦合器，5是混合酸，6是标杆，7是密闭容器，8是循环管，81是管体一，810是进酸口，82是管体二，820是出酸口，9是时间继电器。

具体实施方式

    本实用新型如图1所示，所述混合酸5设在密闭容器7内，所述密闭容器7的底面连通设有注酸管1，注酸管1上设有开关阀控制通、断，注酸管上设有注酸口10；

所述自动循环搅拌装置包括耐酸泵2、循环管8、自动控制器和液位控制器，所述循环管8包括管体一81和管体二82，所述管体一81具有进酸口810和接口一，所述管体二具有出酸口820和接口二，

所述进酸口810连接在所述密闭容器7的底面，所述出酸口820连接在所述密闭容器7的顶面，所述接口一和接口二分别连接所述耐酸泵2的进、出液口；

    所述自动控制器包括时间继电器9；时间继电器通电后，可以具备周期性开关功能，起到间断开关耐酸泵的作用。