[实用新型]滚动轴承

说明书

技术领域

本实用新型涉及在真空环境下或洁净室中优选使用的低扬尘且低脱气而耐久性优异的滚动轴承。

背景技术

通常的滚动轴承将润滑油或润滑脂等润滑剂涂敷或封入至滚动装置(滚动轴承)内部，由此防止滚动体以及与滚动体接触的部件的摩耗等。但是，在洁净室、半导体制造装置、液晶面板制造装置等需要洁净环境的用途和真空环境下，不能使用通常的使用润滑油或润滑脂来进行润滑这一构造的滚动装置。这是因为在这种高温、高速或真空条件下使用的情况下，会基于脱气或润滑剂向滚动装置外部的飞散而导致滚动装置对外部环境的污染。由此，一边频繁更换寿命短的无润滑轴承一边进行使用，轴承的寿命延长成为重要的课题。

因此，具有对滚动轴承的保持架适用固体润滑剂来改善上述问题的以往示例。例如，如下述的专利文献1所述，公开了分割引导滚动体的多个分割形的保持架，该保持架由填充了自润滑性的固体润滑剂的烧结金属构成。若对保持架使用固体润滑剂，则具有润滑滚动体的效果。除此之外，还具有在滚动体之间采用由自润滑性复合材料制成的间隔件来提高润滑性能的方案。

但是，对于保持架或间隔件采用自润滑材料来提高滚动体的润滑性能的方法，虽然与无润滑轴承相比能够提高润滑性能，但是，其构造成为与滚动体独立的构造，因此，在构造上变得更复杂。

专利文献：日本特开平7－151152号公报

实用新型内容

因此，在本实用新型中，通过由以下结构构成的滚动轴承来解决上述课题。

(1)一种滚动轴承，具有内圈、外圈、和旋转自如地保持在所述内圈与所述外圈之间的滚动体，其特征在于，所述滚动体为金属制，在其金属制的滚动面上形成有由固体润滑剂制成的覆盖膜，该覆盖膜的厚度为0.1μm～3μm。

(2)(1)所述的滚动轴承的特征在于，所述固体润滑剂为二硫化钼(MoS2)类自润滑复合材料、或者为二硫化钨(WS2)类自润滑复合材料。

(3)(1)或(2)所述的滚动轴承的特征在于，所述覆盖膜的厚度为0.3μm～2μm。

(4)(1)或(2)所述的滚动轴承的特征在于，所述内圈、外圈以及滚动体中的任意一个采用SUJ2(高碳铬轴承钢)或者不锈钢。

(5)(3)所述的滚动轴承的特征在于，所述内圈、外圈以及滚动体中的任意一个采用SUJ2(高碳铬轴承钢)或者不锈钢。

(6)(1)或(2)所述的滚动轴承的特征在于，所述滚动轴承在所述内圈与外圈之间具有保持架。

(7)(6)所述的滚动轴承的特征在于，所述滚动轴承中的所述保持架为波形保持架。

(8)(1)或(2)所述的滚动轴承的特征在于，所述滚动轴承的轴向两端由密封板密封。

本实用新型的滚动轴承覆盖在滚动体的金属表面上由自润滑性复合材料形成的覆盖膜，由此，能够实现抑制脱气(out gas)且高温下的耐久性优异且寿命长的轴承。另外，与以往的对于保持架和间隔件采用自润滑材料的轴承相比、能够减少扬尘，还不需要独立地设置保持架和间隔件，由此，能够实现设计的简单化。

附图说明

图1是本实用新型的实施方式的滚动轴承的剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图说明本实用新型的实施方式。

图1是深沟球轴承1的剖视图，该深沟球轴承1具有内圈2、外圈3、旋转自如地保持在上述外内圈之间的滚珠4和保持滚珠4的保持架5。滚珠4的滚动面由覆盖膜覆盖，该覆盖膜由二硫化钼(MoS2)类自润滑复合材料或者二硫化钨(WS2)类自润滑复合材料制成。该覆盖膜的厚度为0.1μm～3μm。

内圈2和外圈3的材质为轴承钢(SUJ2；高碳铬轴承钢)或者不锈钢制，滚珠4采用不锈钢制。另外，保持架5采用不锈钢制的波形保持架。