[实用新型]提高高纯气体气瓶处理真空泵效率的装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种提高高纯气体气瓶处理真空泵效率的装置，属于盛装高纯气体的气瓶抽真空处理技术。

背景技术

高纯气体是常见的工业气体，为确保高纯气体的质量，盛装高纯气体的气瓶要进行抽真空处理。一般抽真空时，被抽空间内有水气时，水气会随着被抽气体进入真空泵中，使真空泵油乳化，粘度降低，既降低抽真空效率，又减少真空泵油的使用寿命。

发明内容

实用新型目的：本实用新型提供一种提高高纯气体气瓶处理真空泵效率的装置，其目的是解决以往在抽真空过程中出现的水气会随着被抽气体进入真空泵中，使真空泵油乳化、粘度降低、抽真空效率降低和真空泵油的使用寿命降低的问题。

技术方案：本实用新型是通过以下技术方案来实现的：

一种提高高纯气体气瓶处理真空泵效率的装置，其特征在于：该装置由内而外主要分为液氮层、被抽真空气体走气层和绝热层，液氮层设置在整个装置的最内层，绝热层设置在三层的最外层，液氮层与绝热层之间形成的空腔为被抽真空气体走气层，被抽真空气体走气层与抽真空进口和抽真空出口连通。

液氮层内设置有-196℃的液氮，在液氮层的顶部设置有液氮进口和蒸发液氮出口。

在液氮层的外壁还设置有翅片管。

绝热层为多层缠绕的绝热层，其厚度为δ100～150mm。

优点及效果：本实用新型提供一种提高高纯气体气瓶处理真空泵效率的装置，该装置由内而外主要分为液氮层、被抽真空气体走气层和绝热层，液氮层设置在整个装置的最内层，绝热层设置在三层的最外层，液氮层与绝热层之间形成的空腔为被抽真空气体走气层，被抽真空气体走气层与抽真空进口和抽真空出口连通。

本实用新型在抽真空的过程中可以很好的去除水汽，又不增加气体的阻力，大大提高了抽真空效率的同时，提高了真空泵油的使用寿命。

附图说明：

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式：下面结合附图对本实用新型做进一步的说明：

如图1所示，本实用新型提供一种提高高纯气体气瓶处理真空泵效率的装置，该装置由内而外主要分为液氮层1、被抽真空气体走气层2和绝热层3，液氮层1设置在整个装置的最内层，绝热层3设置在三层的最外层，液氮层1与绝热层3之间形成的空腔为被抽真空气体走气层2，被抽真空气体走气层2与抽真空进口6和抽真空出口7连通。

液氮层1内设置有-196℃的液氮，在液氮层1的顶部设置有液氮进口4和蒸发液氮出口5。

在液氮层1的外壁还设置有翅片管8。

绝热层3为多层缠绕的绝热层，其厚度为δ100～150mm，可用多层缠绕绝热层并抽至真空度小于3Pa。

本装置在安装在真空泵入口上，使气体从抽真空进口6进入走气层2内，并从抽真空出口7走出，气体在走气层2内走过这个过程中，利用液氮层1的液氮的极低温度即-196℃使气体中水分被冻结在液氮层1的外壁上，该外壁还可以装上翅片管8，用来增大换热面积，这样水气就不会进入真空泵中，进而保障真空泵油的使用寿命及真空泵工作效率。而外层绝热层3也叫保温层，其可保证不让液氮层1内的液氮快速蒸发。延长液氮的存留时间。

本实用新型的外壳可采用不锈钢，内外抛光。