[实用新型]总有机碳双效脱除装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种脱除装置，尤其涉及一种总有机碳双效脱除装置，属于纯水净化领域。

背景技术

水中TOC,即总有机碳（Total Organic Carbon），水中的有机物质的含量，以有机物中的主要元素--碳的量来表示，称为总有机碳。纯水净化过程中采用TOC机净化水中的总有机碳。

EDI（Electrodeionization）又称连续电除盐技术，它科学地将电渗析技术和离子交换技术融为一体，通过阳、阴离子膜对阳、阴离子的选择透过作用以及离子交换树脂对水中离子的交换作用，在电场的作用下实现水中离子的定向迁移，从而达到水的深度净化除盐，EDI系统是一种纯水制造系统。

电化去离子系统进水中如果有机物含量过高，会造成树脂和选择透过性膜的有机污染，导致系统运行电压上升，产水水质下降；同时也容易在浓缩水通道形成有机胶体，堵塞通道。

现有的去除装置在纯水末端设置一级TOC机，纯水的纯度一般只能达到10ppb～50ppb，而微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用达到10ppb以下的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，对水质的要求也越高，而这类用户对水质提出了几近苛刻的要求：25℃时TOC含量要求为2～5ppb，如果超纯水TOC超标，后果将是毁灭性的；将会导致生产线的产品直接报废，同时造成系统生产线有机物污染，从而给用户带来毁灭性的经济损失。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是，克服现有技术的缺点，提供一种总有机碳双效脱除装置，能够有效降低电化去离子进水的有机碳含量，避免树脂和选择透过性膜的有机污染导致系统运行电压上升，产水的水质下降，并且减少纯水箱到抛光床这段有机物的滋生。

为了解决以上技术问题，本实用新型提供一种总有机碳双效脱除装置，包括电化去离子系统、超纯水箱和抛光混床，进水口通过EDI送水泵接一级TOC机的进水管，一级TOC机的出水管通过精密过滤器接电化去离子系统的进水端，电化去离子系统的出水端连接超纯水箱的输入端，超纯水箱的输出端通过纯水泵接二级TOC机的进水管，二级TOC机的出水管接抛光混床的输入端，抛光混床的输出端通过杀菌机和过滤器接出水口。

在电化去离子系统出水管设置一级TOC机，去除水中的高含量有机物，避免造成树脂和选择透过性膜的有机污染使系统运行电压上升，产水水质下降；同时防止在浓缩水通道形成有机胶体，堵塞通道。在末端抛光床阶段设置二级TOC机，可减少纯水从纯水箱传输到抛光混床有机物的滋生，并对前端未处理过的TOC进行加效去除。

本实用新型进一步限定的技术方案是：一级TOC机的进水管上设有一级进水阀门，一级TOC机的出水管上设有一级出水阀门，一级TOC机的进水管通过一级TOC机旁通阀接一级TOC机的出水管。

进一步的，二级TOC机的进水管上设有二级进水阀门，二级TOC机的出水管上设有二级出水阀门，二级TOC机的进水管通过二级TOC机旁通阀接二级TOC机的出水管。

进一步的，二级TOC机的进水管与抛光混床的输出端上分别设有水质计。

进一步的，一级TOC机的进水管与二级TOC机的进水管上分别设有压力表。

本实用新型的有益效果是：在电化去离子进水阶段设置一级TOC机，不仅有效去除水中TOC，还保护电化去离子进水系统避免树脂和选择透过性膜受有机污染，延长其使用寿命；在末端抛光床阶段设置二级TOC机，可减少超纯水箱输入到抛光床过程中有机物的滋生，并对前端未处理过的TOC进行加效去除，使水质到达10ppb以下。

附图说明

图1为本实用新型的连接示意图。

具体实施方式

实施例1

本实施例提供的一种总有机碳双效脱除装置，包括电化去离子系统5、超纯水箱6和抛光混床9，进水口1通过EDI送水泵2接一级TOC机3的进水管，一级TOC机3的出水管通过精密过滤器4接电化去离子系统5的进水端，电化去离子系统5的出水端连接超纯水箱6的输入端，超纯水箱6的输出端通过纯水泵7接二级TOC机8的进水管，二级TOC机8的出水管接抛光混床9的输入端，抛光混床9的输出端通过杀菌机10和过滤器11接出水口12。