[实用新型]氩气纯化装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及的是一种气体生产装置，具体涉及一种氩气纯化装置。

背景技术

氩气是一种稀有气体，空气中的氩含量约占0.932％(体积)，它广泛应用于冶金、化工、电子等行业。随着经济的发展和科学技术的进步，氩气已成为一种重要的工业气体，其应用范围得到不断扩大，对其质量的要求也越来越高，促进了氩气生产技术的发展。传统的氩气纯化装置存在一些缺陷：不能快速高效地进行氩气纯化，纯化效果不佳，操作不便。

实用新型内容

针对现有技术上存在的不足，本实用新型目的是在于提供一种氩气纯化装置，结构简单，操作方便，能够生产出高纯度的氩气，实用性强。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：氩气纯化装置，包括吸气剂纯化器、气气换热器、电热加热器、气水换热器、低温储罐、室温汽化器和减压装置，吸气剂纯化器分别与气气换热器、电热加热器相连，气气换热器分别与气水换热器和减压装置相连，减压装置通过室温汽化器与低温储罐相连。

作为优选，所述的气水换热器还与冷却循环水装置相连。

作为优选，所述的低温储罐还与吸附干燥器相连，能够对氩气进行深度脱水。

本实用新型结构简单，操作方便，能够生产出高纯度的氩气，实用性强。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式来详细说明本实用新型；

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

参照图1，本具体实施方式采用以下技术方案：氩气纯化装置，包括吸气剂纯化器1、气气换热器2、电热加热器3、气水换热器4、低温储罐5、室温汽化器6和减压装置7，吸气剂纯化器1分别与气气换热器2、电热加热器3相连，气气换热器2分别与气水换热器4和减压装置7相连，减压装置7通过室温汽化器6与低温储罐5相连。

值得注意的是，所述的气水换热器4还与冷却循环水装置相连。

此外，所述的低温储罐5还与吸附干燥器相连，能够对氩气进行深度脱水。

本具体实施方式的工作原理：采用催化反应法和金属吸气法，当仅仅=除去氩气中的氧气、二氧化碳、水杂质等，可采用催化吸附法，可提纯到ppm-ppb级的要求，若需要除去氩气中的氮气、THC时，采用金属吸气剂，采用本具体实施方式的装置可以将这些杂质全部去除，从而得到高纯度氩气。

本具体实施方式可以区熔晶硅炉配套使用于激光器、溅射、半导体生产，气象色谱仪、特殊灯泡稀有金属加工等需要用高纯氩气的生产技术领域。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。