[实用新型]一种显影补偿装置有效
| 申请号： | 201420139834.6 | 申请日： | 2014-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN203811987U | 公开（公告）日： | 2014-09-03 |
| 发明（设计）人： | 王健康 | 申请（专利权）人： | 昆山市鸿运通多层电路板有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 显影 补偿 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种显影补偿装置，其由显影工艺装置和水洗工艺装置组成，其特征在于：所述显影工艺装置与所述水洗工艺装置之间还设置有显影补偿工艺装置，所述显影补偿工艺装置内添加有显影剂稀释药剂。
2.根据权利要求1所述的显影补偿装置，所述显影剂稀释药剂浓度可根据所述显影剂浓度高低进行调配。
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