[实用新型]一种药液比重数显及自动添加系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种适用于蚀刻工艺中的药液比重数显及自动添加系统。

背景技术

现有的水平线上的许多蚀刻工艺段设计的药液添加大多是人工控制，如按比例自主添加、化验分析添加，这种形式除依赖现场作业人员的技能与责任心外，还有赖于实验室的配置与人员的投入，也不利于药水浓度的管控。

比如，蚀刻线的蚀刻比重设定范围1.19-1.21，最佳比重值为1.195，由于较窄窄的区间范围，加之比重这一关键参数的变化决定了线速、压力、温度等参数的联动变化，人工很能控制。通过比重计测量，若达到1.21上线时，药水性能迅速下降，这时要停机，并排药水、加新液，但很难控制在1.19左右，这时就降低了药液的效率，生产效率也随之下降。在后续生产中，当比重慢慢上升至1.195时，才达到最佳，由于药液管控的不稳定性，既降低生产效率，也不利于品质的管控，药液利用率不高，存在药液过度使用或使用不足的情况。

实用新型内容

本实用新型为克服现有技术存在的不足，提供一种药液比重数显及自动添加系统。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种药液比重数显及自动添加系统，包括添加桶、蚀刻工艺段装置以及位于蚀刻工艺段装置下方的药液槽，所述药液槽内安装有比重检测电子探头， 所述药液槽上安装有药液排放管和药液添加管，所述药液排放管和所述药液添加管上分别设置有药液排放电磁阀和药液添加电磁阀。

所述比重检测电子探头、所述药液排放电磁阀和所述药液添加电磁阀均由人机界面控制系统调控。所述比重测量探头探测药液并将测量结果传输至人机界面控制系统，人机界面控制系统除将测量信息转化成数字显示外，还要进行对比判定，是否需要启动电子阀进行排放与添加。

本实用新型的有益效果为：本系统通过人机界面控制系统实时显示比重值的变化情况，便于作业人员实时掌握与了解比重值，实现自动排放与自动添加，人机界面友好，使用非常方便与便利。同时提高了生产效率高及产品质量，对人员依赖较小、并且能够降低机器异常的发生率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图中：1、比重检测电子探头；2、蚀刻工艺段装置；3、药液槽；4、添加桶；5、药液添加管；6、药液添加电磁阀；7、药液排放管；8、药液排放电磁阀；9、人机界面控制系统。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型进一步阐述。

如图1所示，一种药液比重数显及自动添加系统，包括添加桶4、蚀刻工艺段装置2以及位于蚀刻工艺段装置2下方的药液槽3，药液槽3内安装有比重检测电子探头1， 药液槽3上安装有药液排放管7和药液添加管5，药液排放管7和药液添加管5上分别设置有药液排放电磁阀8和药液添加电磁阀6。其中比重检测电子探头1、药液排放电磁阀8和药液添加电磁阀6均由人机界面控制系统9调控。

一种药液比重数显及自动添加系统的工作原理为：比重检测探头1通过模拟量检测药水含量，并转化为数字量，通过人机界面控制系统9识别、验算转化为可识别的十进制数字模式，这时就可直观的显示实时数据。同时与设定值进行对比，若低于或等于设定值时，保持不变，若高出设定值，则先给药液排放电磁阀8信号，待排放完毕药液排放电磁阀8关闭时，药液添加电磁阀6则自动打开，边添加变循环变检测，当比重回到设定值以下时，药液添加电磁阀6关闭，标志这一循环工作结束。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征以及本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提性，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及等效物界定。