[实用新型]干膜显影机水洗缸有效
| 申请号： | 201420129814.0 | 申请日： | 2014-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN203811986U | 公开（公告）日： | 2014-09-03 |
| 发明（设计）人： | 黄子来 | 申请（专利权）人： | 深圳市航盛电路科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 | 代理人： | 韩英杰;许建 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 显影 水洗 | ||
【权利要求书】：
1. 一种干膜显影机水洗缸，其特征在于：包括缸体及冷却组件，所述冷却组件设有冷却管，所述冷却管设置于所述缸体中，所述缸体上开设有用于注入水洗用水的水洗水进水口及用于排出水洗用水的水洗水出水口，所述冷却管包括依次连接的进水段、冷却段及出水段。
2. 根据权利要求1所述干膜显影机水洗缸，其特征在于：所述冷却管靠近缸体的底部设置。
3. 根据权利要求2所述干膜显影机水洗缸，其特征在于：所述水洗水进水口对应设置于冷却段的中部下方。
4. 根据权利要求1所述干膜显影机水洗缸，其特征在于：所述进水段及出水段竖直设置。
5. 根据权利要求1所述干膜显影机水洗缸，其特征在于：所述冷却管采用铁氟龙制成。
6. 根据权利要求1所述干膜显影机水洗缸，其特征在于：所述膜显影机水洗缸设置于多个冷却管，所述多个冷却管相互平行设置。
7. 根据权利要求1所述干膜显影机水洗缸，其特征在于：所述干膜显影机水洗缸的缸体内还设有温度传感器。
8. 根据权利要求1所述干膜显影机水洗缸，其特征在于：所述干膜显影机水洗缸的缸体还设有密封箱，所述密封箱将所述冷却管的冷却段密封。
9. 根据权利要求8所述干膜显影机水洗缸，其特征在于：所述密封箱内注入有热传递介质。
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