[实用新型]低温分子筛吸附泵装置

权利要求书

1. 一种低温分子筛吸附泵装置，其特征在于主要包括机械泵（1）、波纹管（2）、低温分子筛吸附泵（3）、真空管路（4）、电阻/电离复合型真空计（5）和复合型真空计控制器（6）；其中:

所述机械泵（1）通过波纹管（2）同真空管路（4）连接；所述低温分子筛吸附泵（3）同真空管路（4）连接；所述电阻/电离复合型真空计（5）同真空管路（4）连接，并且通过配套的电线同复合型真空计控制器（6）连接；

所述的低温分子筛吸附泵（3）包括低温吸附泵腔体（9）和液氮杜瓦（10）；所述低温吸附泵腔体（9）主要由一个圆柱桶形的真空腔（11）和一个圆柱形的多孔网（12）组成；所述多孔网（12）嵌套在真空腔（11）内，多孔网（12）网外与真空腔（11）内壁之间区域放置分子筛；所述真空腔（11）的主体浸泡在液氮杜瓦（10）的液氮中，真空腔（11）的开口端伸出液氮杜瓦（10）外；低温分子筛吸附泵（3）通过真空腔（11）的开口端同真空管路（4）连接；

所述的真空管路（4）上还设置有一个用于连接待抽样品的样品管路接口（18），一个用于控制样品管路接口（18）开合的第一直通阀门（14），一个控制低温分子筛吸附泵（3）与真空管路（4）连通/断开的开关角阀（15），以及一个用于控制波纹管（2）与真空管路（4）连通/断开的第二直通阀门（17）。

2. 如权利要求1所述的低温分子筛吸附泵装置，其特征在于真空管路（4）上还设有一个用于调节进气的vent阀门（16）。

3. 如权利要求1所述的低温分子筛吸附泵装置，其特征在于机械泵（1）作为一个前级真空泵，通过波纹管（2）同真空管路（4）的第二直通阀门（17）连接；真空管路（4）上根据需要设置若干分支管；其中，一个分支管端口设置开关角阀（15），低温分子筛吸附泵（3）通过低温吸附泵腔体（9）的真空腔（11）开口端，同开关角阀（15）连接；电阻/电离复合型真空计（5）设置在真空管路（4）的其它分支管上，并且通过配套的电线同复合型真空计控制器（6）连接，用来测量真空管路（4）中的真空度。

4. 如权利要求2所述的低温分子筛吸附泵装置，其特征在于所述真空管路（4）主体由一个三通管和一个五通管组成；其中，三通管的第一通路和五通管的第一通路互相对接；三通管的第二通路上设置一复合型真空计，三通管的第三通路同第一直通阀门（14）的一端口连接，第一直通阀门（14）的另一端口同样品管路接口（18）连接；五通管的第二通路上设置另一复合型真空计，五通管的第三通路同开关角阀（15）连接，五通管的第四通路上设置一个vent阀门（16），五通管的第五通路同第二直通阀门（17）的一端口连接，第二直通阀门（17）的另一端口与波纹管（2）连接。

5. 如权利要求1所述的低温分子筛吸附泵装置，其特征在于所述机械泵（1）、波纹管（2）、低温分子筛吸附泵（3）、真空管路（4）和真电阻/电离复合型真空计（5）通过设置一个支架（7）支撑起来。