[实用新型]高回收率气体分析仪采样装置

说明书

技术领域

本实用新型是有关于一种气体分析仪采样装置，特别是关于一种可提高回收率的气体分析仪采样装置。

背景技术

一般半导体或面板产业的无尘室（clean room），通常必须针对空气中含有的酸碱气或有机类等AMC（Airborne Molecular Contamination，气体分子污染物）或VOC（Volatile Organic Compound，挥发性有机化合物）的浓度加以测量并监控，以避免这些有害气体影响到产品的优良率或精密昂贵的机器设备，目前对于无尘室环境中AMC或VOC的测量监控，请参阅图1所示，通常是利用采气袋或不锈钢桶等工具人工取样，或是利用取样管路自动取样，以获得一空气样本A1，再将该空气样本A1通过一进样管路10送入一分析装置2内进行测量分析，其中，该分析装置2可为气相层析质谱分析仪（GC-MS，Gas Chromatography-Mass Spectrometer）、气相层析火焰离子化检测器(GC-FID，Gas Chromatography-Flame Ionization Detector)、选择离子流动管质谱仪(SIFT-MS，Selected Ion Flow Tube Mass Spectrometry)、飞行式质谱仪(TOF-MS，Time-of-Flight Mass Spectrometry、离子层析仪(IC，Ion Chromatography)等气体化学分析装置，该分析装置2通常还会通过一抽气管路11连接一泵13，该泵13可内建于分析装置2内或独立于分析装置2之外，用以抽取需分析的空气样本A1使之流经分析装置2，以进行气体的分析，此外，该空气样本A1在进入分析装置2之前，有时会先经过一前处理装置例如热脱附装置（Thermal Desorption，TD）等进行样本的前处理，在此，该前处理装置与分析装置2的基本结构、动作原理与功用皆为本领域的技术人员所熟知，于此不再赘述。

现有的气体测量分析架构，虽可达到对该空气样本A1进行采样及分析的目的，但所有的空气样本A1皆只能自单一的进样管路10及抽气管路11进出该分析装置2，如此一来，将使该空气样本A1的流速降低，导致该空气样本A1中待分析的污染物容易残留附着在各个管路内，造成空气样本A1的浓度及回收率（percent recovery，%R）降低，进而影响测量的准确性与产品的可靠度，若是为了避免或减轻前述缺陷则必须缩短取样管路的长度，但如此将使该分析装置2的设置地点受限，影响操作或使用的便利性，此外，空气样本A1的低流速也容易对该进样管路10造成污染及下一次测量的干扰，因此，如何针对上述缺陷加以改良，即为本案申请人所欲解决的技术困难点所在。

实用新型内容

有鉴于现有的气体测量分析架构，因空气样本在进样时流速较低，造成回收率降低并影响测量分析的精确度，因此本实用新型的目的在于提供一种可提高回收率的气体分析仪采样装置。

为达成以上的目的，本实用新型提供一种高回收率气体分析仪采样装置，其包含：一分析装置，该分析装置具有一进样口与一出样口，该进样口连接有一进样管路；一第一泵，该第一泵与该分析装置的该出样口之间通过一抽气管路相连接，又该第一泵连接有一排气管路；一进样分流回路，该进样分流回路一端与该进样管路一侧相连通，又该排气管路与进样分流回路一侧相连通；一第二泵，该第二泵设置在该进样分流回路上。

借由本实用新型设有的该进样分流回路与第二泵，可通过空气样本适度分流以及第二泵的协同抽气作用，提高空气样本的流速，可避免空气样本因流速过低而附着残留在管路内，导致待测物的回收率降低，造成测量精确度变差的缺陷，进而使本实用新型可达到提升测量精确度及产品可靠度的功效。

附图说明

图1是现有的架构示意图；

图2是本实用新型一实施例的架构示意图；

图2A是本实用新型其第二实施例的架构示意图；

图3是本实用新型的动作示意图；

图4是本实用新型其第三实施例的架构示意图。