[实用新型]一种增强型四氯化硅电加热器

权利要求书

1.一种增强型四氯化硅电加热器，其特征在于，包括： 

至少三个相互贯通的压力容器，三个压力容器的结构一致，每个压力容器包括一容器管体，所述容器管体内平行设置若干根电加热管，电加热束设置于所述电加热管内，以及一容器管体上的测温元件， 

和一固定容器管体的仪器仪表盒，所述仪器仪表盒内封装有电源线和温控线，以及一超温保护热点偶。 

2.根据权利要求1所述的一种增强型四氯化硅电加热器，其特征在于：所述电加热管内还架设一折流板，所述折流板间隔设置，均匀排布于所述容器管体内。 

3.根据权利要求1所述的一种增强型四氯化硅电加热器，其特征在于：所述电加热管为一体成型。 

4.根据权利要求1所述的一种增强型四氯化硅电加热器，其特征在于：三个压力容器分别为第一压力容器，第二压力容器以及第三压力容器，

所述第一压力容器的端部设置第一连接孔，与所述第二压力容器的第二连接孔相互连通， 

所述第二压力容器的端部设置第三连接孔，与所述第三压力容器的第四连接孔相互连通， 

且所述第一压力容器一侧设置一四氯化硅进口，第三压力容器一侧设置一四氯化硅出口。 

5.根据权利要求4所述的一种增强型四氯化硅电加热器，其特征在于：所述第一连接孔与第二连接孔通过第一连接管连通，第三连接孔与第四连接孔通过第二连接管连通。 

6.根据权利要求4所述的一种增强型四氯化硅电加热器，其特征在于：所述第三压力容器一侧还增设一排污口，以及在所述第三压力容器的四氯化硅出口处设置一出口测温热电偶。