[实用新型]一种多焦点聚焦的激光加工装置有效
申请号: | 201420041829.1 | 申请日: | 2014-01-22 |
公开(公告)号: | CN203887387U | 公开(公告)日: | 2014-10-22 |
发明(设计)人: | 邹武兵;段家露;邓春华;张德安;罗会红 | 申请(专利权)人: | 深圳市韵腾激光科技有限公司 |
主分类号: | B23K26/04 | 分类号: | B23K26/04;B23K26/046 |
代理公司: | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人: | 黄冠华 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 焦点 聚焦 激光 加工 装置 | ||
1.一种多焦点聚焦的激光加工装置,其特征在于,包括激光发生器、衍射分光元件、物距调节模块和聚焦模块,所述激光发生器发射的激光依次通过所述衍射分光元件、物距调节模块和聚焦模块到达被加工的物体上,所述激光发生器和所述衍射分光元件之间还设有激光扩束单元,所述衍射分光元件与所述聚焦模块之间的距离可调。
2.如权利要求1所述的多焦点聚焦的激光加工装置,其特征在于:所述衍射分光元件为二元光学分束器。
3.如权利要求1所述的多焦点聚焦的激光加工装置,其特征在于:所述衍射分光元件为一维衍射分束光学元件。
4.如权利要求1所述的多焦点聚焦的激光加工装置,其特征在于:所述聚焦模块为静态聚焦镜。
5.如权利要求1所述的多焦点聚焦的激光加工装置,其特征在于:所述激光发生器发射的激光经所述聚焦模块聚焦后的聚焦焦点的焦深小于聚焦焦点光斑直径的五倍。
6.如权利要求1所述的多焦点聚焦的激光加工装置,其特征在于:还包括与所述聚焦模块光轴同轴的视频监控系统。
7.如权利要求1所述的多焦点聚焦的激光加工装置,其特征在于:所述激光发生器发射的激光脉冲宽度小于10纳秒,脉冲重复频率在1千赫兹到100兆赫兹之间。
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