[发明专利]掩模传输装置、曝光装置及掩模传输方法

说明书

技术领域

本发明涉及掩模传输装置、曝光装置及掩模传输方法。

背景技术

随着信息化程度的提高，显示技术也在不断的进步。目前，CRT(Cathode Ray Tube，阴极射线管)技术正在逐渐被LCD(Liquid Crystal Display，液晶显示器)、LED(light emitting diode，发光二极管)技术替代。OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)因其具有超薄、主动发光、高亮度、高对比度、宽视角、宽工作温度范围、低功耗、低成本、全固态等优点，被广泛的应用于显示技术中。

随着OLED的广泛应用，显示器的分辨率不断提高，尺寸也在不断增大，促进了TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶体管)光刻设备的不断升级换代；随着TFT光刻设备的不断更新换代，用于存储曝光图形信息的掩模的尺寸逐渐增大、重量逐渐增加。掩模传输装置通过传动装置与电源连接，用于将版盒和掩模搬运至光刻设备中，并将掩模传输至掩模台上进行曝光，由于掩模的尺寸增大、重量增加，对掩模的传输装置的安全性以及传输的精确性要求也越来越高。

请参考图1，现有技术中的掩模传输装置，包括承载架21、承载架引导部21A、装载臂22、装载臂Z轴引导部22A、卸载臂23、收容部65、版盒C、版库LB、搬送车V、投影光学系统PL、掩模M、感光基板P、基板载台PST、曝光部S、掩模载台MST、曝光所用的光EL、照明光学系统IL、控制装置CONT、曝光装置EX、曝光室CH、第一搬送装置H1、第二搬送装置H2；承载架21在第一位置CA1接收到掩模M后，将掩模M搬送到第二位置CA2。该掩模传输装置通过设置万向滚珠等结构减少搬运过程中的摩擦，增加了搬送过程中的方便性。但是，当出现断电、供气中断以及传动装置异常等情况时，掩模传输装置会突然停止运转，承载架21会因自重而跌落，所述掩模M容易从掩模传输装置上滑落下来，导致物料和设备受损，并且操作环境不安全。而且掩模M的尺寸增大、重量增加时，无法保证掩模M传输的精确性。

发明内容

为了提高掩模传输过程中的安全性，提高掩模传输的精确性，本发明提供一种掩模传输装置。

为了解决以上技术问题，本发明的技术方案是：一种掩模传输装置，包括：取放版机械手，用于从版盒中取出掩模，并承载所述掩模移动；定位对准装置，用于将所述掩模与掩模台对准；双重制动装置，用于异常情况时对所述取放版机械手制动。

作为优选，所述定位对准装置包括：机械定位装置，用于将所述掩模初步定位；光学预定位对准装置，用于计算对准结果，将所述掩模与所述掩模台光学对准；交换版机械手，用于携带所述掩模移动，将所述掩模与所述掩模台对准。

作为优选，所述交换版机械手上设有版叉。

作为优选，取放版机械手包括升降轴，所述双重制动装置包括电机电磁制动装置和导轨气动制动装置，所述电机电磁制动装置和所述导轨气动制动装置均与所述升降轴连接。

作为优选，所述电机电磁制动装置包括第一电磁式制动器和第二电磁式制动器；所述第一电磁式制动器通过电机与所述升降轴连接，所述第二电磁式制动器通过丝杠与所述升降轴连接。

作为优选，所述导轨气动制动装置包括控制器、失效检测传感器和气动式制动器，所述失效检测传感器和所述气动式制动器均与所述控制器信号连接；所述气动式制动器通过导向装置与所述升降轴连接；所述失效检测传感器外部设有传感器挡片，所述传感器挡片用于挡住所述失效检测传感器；所述传感器挡片与传动装置接触连接。

作为优选，所述导向装置是导轨或者导向杆。

作为优选，所述传动装置包括主动轮和从动轮，所述主动轮与所述从动轮之间连接有同步带，所述传感器挡片通过弹簧与所述同步带接触连接。

作为优选，所述掩模传输装置包括掩模颗粒检测装置，所述掩模颗粒检测装置用于检测所述掩模的颗粒污染。

作为优选，所述掩模传输装置包括缓存台，所述缓存台用于放置已曝光的所述掩模。

作为优选，所述掩模传输装置包括版库和版盒搬运装置，所述版库用于储存所述版盒；所述版盒搬运装置用于将所述版盒搬送至所述版库内。

作为优选，所述版库内设有用于装载所述版盒的版槽，所述版槽内设有缓冲器。

作为优选，所述版盒通过定位件在所述版槽内定位。

作为优选，所述版库上设有版盒异常检测装置，所述版盒异常检测装置与所述取放版机械手信号连接。