[发明专利]一种激光腔的平行性调整方法及其装置

权利要求书

1.一种激光腔的平行性调整装置，所述的激光腔为YAG固体激光器光学谐振腔，包括全反射镜、半透膜，其特征在于：分光镜置于参考He-Ne激光器和全反射镜之间，呈水平45°放置，在分光镜的正下方，水平设置一个光电位置敏感器，它的输出端信号经转换电路与计算器连接。

2.根据权利要求1所述的一种激光腔的平行性调整装置，其特征在于：光电位置敏感器包括4个光电位置敏感单元，它们的输出端分别与对应的比较器连接；比较器输出信号经A/D数据采集器，将模拟信号转换为数字信号后输入计算器。

3.一种激光腔的平行性调整方法，其特征在于包括如下步骤：

（1）移去全反射镜，打开参考He-Ne激光器，激光经激光腔上的半透膜反射后再经分光镜分光，入射到光电位置敏感器的接收面上形成光点，光电位置敏感器的输出端将电流信号经转换电路输入计算器器，得到接收面上光点的位置坐标                                                ；调整激光腔的半透膜位置，光点坐标，至半透膜的反射光处在光电位置敏感器的接收面的中心处；

（2）将全反射镜置于激光腔与分光镜之间，参考He-Ne激光器所发射的激光经全反射镜反射后再经分光镜分光，入射到光电位置敏感器的接收面上形成光点，光电位置敏感器的输出端将电流信号经转换电路输入计算器，调整全反射镜的位置，至光点坐标处在光电位置敏感器的接收面的中心处，即激光腔的半透膜与全反射镜处于平行状态。

4.根据权利要求3所述的一种He-Ne激光器的激光腔平行性调整方法，其特征在于：光电位置敏感器包括4个光电位置敏感单元，它们的输出端分别将对应的电流信号和输入到对应的比较器，再经A/D转换后输入到计算器，按式：进行计算，得到接收面上光点的位置坐标。