[发明专利]X射线分析用试样保持器及试样设置用夹具

说明书

技术领域

本发明涉及在用X射线分析装置将试样（试料）进行X射线分析时、用来保持试样而安设到X射线分析装置中的X射线分析用试样保持器及为了对该保持器安设试样而使用的试样设置用夹具。

背景技术

一般而言，在用荧光X射线分析装置等X射线分析装置将试样进行X射线分析时，使用保持试样的保持器，将该保持器安设到X射线分析装置中而进行分析。例如，以往为了分析、测量微小的试样，作为保持器而使用带有薄膜的容器。即，将试样放置到张设于容器内的较薄的薄膜上，实施测量。

在这样测量薄膜上的试样时，由于试样是微小而轻量的，所以有下述情况：因装置的门的开闭或试样的更换时的机械振动等，而发生该试样上的照射X射线的目标位置与实际的照射位置不一致的试样的偏移。为了改善该试样的偏移，还提出了使用缓冲件保持试样的方法。但是，有缓冲件的材质有时给X射线测量结果带来影响的不良状况。

因此，提出了使用专用的测量容器的技术。例如，在专利文献1中，提出了一种X射线分析用试料保持器，其具备：有底筒形状的主体；1个以上的棒状的支承部件，立设在该主体的底壁上，用前端面支承试料；和薄膜，将主体的开口部覆盖，将试料在与支承部件之间支承。该X射线分析用试料保持器为，在作为专用容器的容器盖的内部上表面上设有插入口，从该插入口插入试样或插入在端部带有试样的棒而使用。

专利文献1：特开2000－230912号公报。

在上述以往的技术中，留有以下的课题。

即，X射线强度依存于试样与X射线管的距离，但在以往的试料保持器中，需要将试样插入到容器内而安设，有难以将试样总是保持为最优的距离、给测量结果带来影响的问题。此外，对于插入的试料的大小有限制，必须将试料加工成能够从插入口插入的大小及形状，也有在试料的制作中花费工夫、较麻烦的不良状况。

发明内容

本发明是鉴于上述课题而做出的，目的是提供一种能够消除试样的偏移并使试样与X射线管的距离为一定、进而能够对应于各种各样的形状的试样的X射线分析用试样保持器及在将试样向该保持器安设时使用的试样设置用夹具。

本发明为了解决上述课题而采用以下的结构。即，有关第1发明的X射线分析用试样保持器，其特征在于，具备第1环状部件、第2环状部件和第3环状部件；所述第2环状部件在与上述第1环状部件之间夹着第1薄膜的状态下嵌入插入在上述第1环状部件内，将下部开口部覆盖而张设上述第1薄膜；所述第3环状部件在与上述第2环状部件之间夹着第2薄膜的状态下嵌入插入在上述第2环状部件内，将下部开口部覆盖而张设上述第2薄膜；用在上述第2环状部件和上述第3环状部件各自的下部开口部处张设的上述第1薄膜和上述第2薄膜将X射线分析用的试样夹持。

在该X射线分析用试样保持器中，由于用在第2环状部件和第3环状部件各自的下部开口部处张设的第1薄膜和第2薄膜将X射线分析用的试样夹持，所以试样被一对薄膜夹着而不会偏移，并且由于薄膜较薄，所以不易给X射线测量带来影响，能够进行准确的测量。此外，通过将第1薄膜的位置安设到试样与X射线管的距离的最优位置，能够总是使试样与X射线管的距离成为一定。进而，由于将试样夹在一对薄膜间，所以对试样的大小及形状限制较少，能够安设多种多样的试样。

有关第2发明的X射线分析用试样保持器在第1发明中，其特征在于，上述第3环状部件形成得比上述第2环状部件高；在上述第2环状部件的上方且上述第3环状部件的外周面上，具备弹性体圈，所述弹性体圈以夹着上述第2薄膜的外周缘部分的状态安装，将上述第2薄膜固定。

即，在该X射线分析用试样保持器中，由于在第2环状部件的上方且第3环状部件的外周面上，具备弹性体圈，所述弹性体圈以夹着第2薄膜的外周缘部分的状态安装，将第2薄膜固定，所以能够用弹性体圈调节第2薄膜的张力程度。例如，通过由弹性体圈使第2薄膜的张力比第1薄膜弱而固定，能够在将第1薄膜平坦地张设的原状下在第3环状部件内以第2薄膜成为凸的方式夹持试样。由此，能够不使第1薄膜挠曲而保持试样，能够维持作为基准面的第1薄膜的位置，所述基准面决定试样与X射线管的距离。

有关第3发明的X射线分析用试样保持器在第1或第2发明中，其特征在于，在上述第1环状部件的下部外周上形成有缺口状的台阶部。

即，在该X射线分析用试样保持器中，由于在第1环状部件的下部外周上形成有缺口状的台阶部，所以通过在X射线分析装置的保持器安装部设置将台阶部卡止且第1环状部件的下部能够嵌入的台阶部状的凹部，能够进行与X射线照射口的定位，容易使试样对准于目标位置，还能够再次向相同位置配置试样。