[发明专利]静电涂敷方法与静电涂敷装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种通过电力来从喷嘴前端将各种液体拉细，在基材上形成微细的图案的静电涂敷方法。

背景技术

以往，作为形成微少的液滴，从而在基板上涂敷微细的图案的方法，已知有例如专利文献1所述那样，利用静电吸引的方法。

图12表示专利文献1的方法。

该方法是将喷嘴2配置为与涂敷对象物4的表面对置，从电源部30向涂敷对象物4与喷嘴2之间施加脉冲电压，通过静电力来将喷嘴前端3的液体1向涂敷对象物4侧吸引，从而将液滴31下滴到涂敷对象物4。

专利文献2虽然不是向涂敷对象物进行涂敷，但也已知利用针，将具有均匀的颗粒直径的微小液滴排出到溶液中的方法。在专利文献2中没有使用专利文献1那样的静电力。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2001-038911号公报

专利文献2：日本特开2006-320795号公报

发明要解决的课题

利用专利文献2的技术来将附着在针的前端的溶液涂敷到涂敷对象物的情况如下。

如图13(a)所示，被配置在喷嘴2内的针32如图13(b)所示，下降到前端从喷嘴前端3突出为止。此时，成为在针32的前端，少量附着有喷嘴2内的液体1的液滴33的状态。然后，如图13(c)所示，使针32下降到前端附着的液滴33与涂敷对象物4接触为止。由此，能够将附着在针32的前端的液滴33涂敷在涂敷对象物4。

但是，在作为现有方法的图12以及被考虑的图13所示的方法中，在通过将微细的直线图案涂敷在涂敷对象物4的表面来形成的情况下，存在其涂敷结果的边缘的直线性不好，不能够实现图案宽度均匀的涂敷的问题。

图14中表示该情况下的涂敷状态。

图14(a)表示刚刚连续地涂敷了微少液滴之后的状态。在图14(b)中表示该被涂敷的液滴的干燥结束了的状态。这样，虽然在涂敷后的干燥阶段进行相邻的液滴彼此的矫直(1eveling)，但是由于作为液滴涂敷的痕迹残留，因此难以得到边缘的直线性。这是由于排出的微少液滴的表面积较宽，在从喷嘴2排出并到达涂敷对象物4之前干燥被促进，因此到达涂敷对象物4后的矫正比较困难。

由此，为了实现边缘的直线性好，图案宽度均匀的涂敷，认为优选不连结液滴，而在不使液滴间断的情况下连续地进行涂敷。

因此，考虑利用通过静电力来进行液滴吸引的原理，并如图15所示那样在喷嘴2的前端形成液体聚集部34，将液体1连续地涂敷在涂敷对象物4的表面，但在进行基于液体聚集部34的连续的涂敷时，由于随着由静电力引起的液体聚集部34的伸缩的涂敷的起始端结束端形成需要时间，因此存在节拍时间增加，并且涂敷状态容易混乱的问题。

图16(a)～(d)表示在进行基于液体聚集8的液体1的连续涂敷的情况下的涂敷起始端处的液体聚集部34的形成状态。

图16(a)表示向装入了液体1的喷嘴2施加电压前的状态。

接下来，若向喷嘴2与涂敷对象物4之间施加电压，则如图16(b)(c)所示，通过静电力，液体聚集部34向涂敷对象物4侧延伸，如图16(c)所示，经过到达涂敷对象物4前的不稳定的液体聚集部34的状态，最终如图16(d)所示，液体聚集部34到达涂敷对象物4。

在这种基于静电力的吸引中，由于从图16(c)的不稳定状态移至图16(d)的稳定状态需要时间，因此用于涂敷的喷嘴2与涂敷对象物4开始相对移动的定时控制非常困难，并且会产生液体聚集部34到达涂敷对象物4的位置与期待的位置不同的情况。其结果，存在如图17(a)所示，将所需量以上的量的液体1涂敷在涂敷起始端，线宽产生加粗35，或者相反地，如图17(b)所示，液体1的涂敷量不足，产生间断36的问题。

图18(a)～(d)表示涂敷结束端处的液体聚集部34的缩小状态。

这样，相对于向装入了液体1的喷嘴2的电压施加停止前(图18(a))，在电压施加刚刚停止后(图18(b))，也由于液体聚集部34保持的残留电荷的影响，不立刻从涂敷对象物4断开，而经过不稳定地保持的状态，最终液体聚集部34如图18(c)(d)所示那样被断开。