[发明专利]辐射源蒸发系统及蒸镀控制方法

权利要求书

1.一种辐射源蒸发系统，其特征在于，包括：

用于承载蒸镀材料的载台；

用于产生辐射源以照射于所述载台上的蒸镀材料使得所述蒸镀材料受热蒸 发的辐射产生器。

2.根据权利要求1所述的辐射源蒸发系统，其特征在于：还包括设置于所 述载台上方的喷嘴工具，用于将所述蒸镀材料喷洒于所述载台上。

3.根据权利要求2所述的辐射源蒸发系统，其特征在于：

所述载台为旋转作动的圆形载台；

利用所述喷嘴工具在所述圆形载台上喷洒的蒸镀材料呈环状。

4.根据权利要求3所述的辐射源蒸发系统，其特征在于：

所述圆形载台上设置有用于容置所述蒸镀材料并与所述辐射发生器对应以 供接收所述辐射源的加热环；

所述辐射源通过所述加热环对所述蒸镀材料加热蒸发。

5.根据权利要求2所述的辐射源蒸发系统，其特征在于：

所述载台为左右作动的矩形载台；

所述喷嘴工具包括设于所述矩形载台左侧端的第一喷嘴工具和位于所述矩 形载台右侧端的第二喷嘴工具；利用所述第一喷嘴工具在所述矩形载台上喷洒 的第一蒸镀材料和利用所述第二喷嘴工具在所述矩形载台上喷洒的第二蒸镀材 料呈条状；

所述辐射产生器配置于所述矩形载台的中间位置处，产生的所述辐射源用 于在所述矩形载台左右作动时对移动至所述辐射源之下的所述第一蒸镀材料和 所述第二蒸镀材料加热蒸发。

6.根据权利要求1或2所述的辐射源蒸发系统，其特征在于：

还包括用于覆盖所述蒸镀材料的保护体；

所述保护体开设有供所述辐射源通过的开口。

7.根据权利要求1所述的辐射源蒸发系统，其特征在于：

所述辐射源包括激光辐射。

8.一种基于如权利要求1至7中任一项所述的辐射源蒸发系统的蒸镀控 制方法，其特征在于包括以下步骤：

1)设置载台，并在所述载台上喷洒蒸镀材料；

2)通过加设的辐射产生器对蒸镀材料进行加热蒸发；

3)控制辐射产生器的输出功率，以控制所述蒸镀材料的蒸镀速率。

9.根据权利要求8所述的蒸镀控制方法，其特征在于：

步骤1)之后步骤2)之前还包括在所述蒸镀材料上覆盖保护体的步骤。