[发明专利]大口径透镜镀膜夹具旋转盘有效
| 申请号: | 201410620573.4 | 申请日: | 2014-11-06 |
| 公开(公告)号: | CN104451588A | 公开(公告)日: | 2015-03-25 |
| 发明(设计)人: | 柯立公;杨留江;张伟利;孙建;易葵 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
| 代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 张泽纯;张宁展 |
| 地址: | 201800 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 口径 透镜 镀膜 夹具 旋转 | ||
技术领域
本发明涉及机械、真空和镀膜等多个领域,涉及薄膜制备技术,特别是一种真空、高温镀膜条件下大口径透镜镀膜夹具旋转盘。
背景技术
对于小曲率半径大口径透镜样品的镀膜,若只采用普通的装片以及夹持方式,镀膜元件在真空、高温镀膜过程中可能因为安装的不均匀,同心度不佳或者略微倾斜,夹具在高速转动和高温热膨胀的双重影响下导致镀膜元件发生崩边、磨边及微裂纹现象,影响透镜的使用性能。这种传统的装夹方式所造成的损害是不能忍受的,如何改进和改善镀膜样品的安装方式是困扰使用者的一个问题。
发明内容
本发明的目的在于克服上述现有技术的不足,提供一种用于真空、高温镀膜的大口径透镜镀膜夹具旋转盘,该夹具旋转盘是安装透镜与镀膜夹具的便捷工具,可保证大口径透镜镀膜夹具与透镜在装片过程中的平稳性、安全性以及良好的同心度,确保镀膜的成功率。该夹具旋转盘适用于各类需要保证同心度,均匀性接触或者平稳抬升的安装装置,避免因人为直接安装所造成倾斜,偏差或不同心现象。
本发明的技术解决方案如下:
一种大口径透镜镀膜夹具旋转盘,其特点在于包括固定部分和旋转部分,所述的固定部分包括底座、内六角圆柱头螺钉、圆筒形底座、环形基座和聚四氟乙烯垫块,所述的圆筒形底座固定在所述的底座上,所述的环形基座嵌设在所述的圆筒形底座顶端的环形内台阶上,在所述的圆筒形底座顶端和所述的环形基座的周边上均匀地设置多个聚四氟乙烯垫块;所述的旋转部分包括圆筒形手轮、两个以上的旋转扶手、若干个钢珠、大托盘、限位环和尖端顶紧螺钉,所述的圆筒形手轮的内螺纹旋套在所述的圆筒形底座的外螺纹上,所述的两个以上的旋转扶手固定在所述的圆筒形手轮的外壁上,该圆筒形手轮的顶面具有环形凹槽,所述的大托盘的底面具有与所述的圆筒形手轮的顶面的环形凹槽相对应的环形凹槽;在所述的圆筒形手轮的顶面的环形凹槽和所述的大托盘底面的环形凹槽之间均匀地分布所述的若干个钢珠,所述的限位环有外螺纹,与所述的圆筒形手轮顶端内内侧的内螺纹匹配连接,连接后用尖端顶紧螺钉通过限位环上的螺纹孔和圆筒形手轮内侧的螺纹孔中把限位环与圆筒形手轮固定,固定后的限位环的上部分和大托盘接触,下部分和圆筒形手轮手轮接触,所述的大托盘和限位环内设置圆环形夹具。
本发明的技术效果:
本发明是为小曲率半径大口径透镜在真空、高温条件下的镀膜夹具提供了一种方便、快捷,安全有效的放置透镜的装置和方法。放上所需要保持同心度的夹具和样品后,只需操作该装置的旋转扶手,通过缓慢平稳的抬升大托盘,从而到达夹具缓慢靠近透镜,最后达到实现把透镜放置到夹具上的效果,最终保证了夹具与透镜样品的同心度和平稳性,提供了安全可靠的装夹方式以及到达了严格的装夹要求,为成功镀膜奠定了坚实的基础。
附图说明
图1是本发明小曲率半径大口径透镜镀膜夹具旋转盘剖视图。
图2是本发明小曲率半径大口径透镜镀膜夹具旋转盘等轴视图。
图3是本发明小曲率半径大口径透镜镀膜夹具旋转盘俯视图。
图4是本发明小曲率半径大口径透镜镀膜夹具旋转盘剖视图。
图5是本发明小曲率半径大口径透镜镀膜夹具旋转盘剖视图。此图包含托盘和夹具盘。
图6是本发明小曲率半径大口径透镜镀膜夹具旋转盘部分剖视图。
图7是本发明小曲率半径大口径透镜镀膜夹具旋转盘剖视图。此图包括夹具与透镜完全脱离聚四氟乙烯垫块。
图8是小曲率大口径透镜镀膜夹具9的部分剖视图
图9是小曲率大口径透镜镀膜夹具示意图。
图中:1-底座、2-圆筒形底座、3-手轮、4-旋转扶手、5-钢珠、6-大托盘、7-限位环、8-M3尖端顶紧螺钉、9-小曲率大口径镀膜夹具,包括9-1-环形垫圈、9-2-托盘、9-3-夹具盘、9-4-侧挡块、9-5-调节螺母,9-6-压簧、9-7-盖板、9-8-特制M6螺丝、9-9-压板、9-10-蝶簧和9-11-M3螺丝。10-透镜、11-聚四氟乙烯垫块、12-M3内六角圆柱头螺钉和13-环形基座。
具体实施方式
下面结合实例和附图对本发明作进一步说明,但不应以此限制发明的保护范围。
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