[发明专利]一种原子力显微镜和表面光电压谱联用方法

权利要求书

1.一种原子力显微镜和表面光电压谱联用方法，其特征在于：包括：

1)激发光源发出的激发光通过单色仪分光得到波长连续可调的单色光，该单色光利用斩波器调制，调制后单色光再通过透镜聚焦到待测固体样品表面；

2)利用原子力显微镜的探针测量单色光照射的待测固体样品所需测量区域的表面电势，将测量获得的表面电势信号输出到锁相放大器信号输入端；

同时，将斩波器频率信号输入到锁相放大器信号参考信号输入端；

3)由锁相放大器输出振幅以及相位角信号；

4)通过单色仪改变照射到待测固体样品表面单色光的波长，重复步骤2)和3)过程2次以上；

5)以单色仪分光得到单色光波长为横坐标，以锁相放大器输出的振幅信号为纵坐标，绘制出待测固体样品所需测量区域表面的表面光电压谱图；

和/或，以单色仪分光得到单色光波长为横坐标，以锁相放大器输出的相位角信号为纵坐标，绘制出待测固体样品所需测量区域表面的相位角谱图。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于：

步骤3)所述由锁相放大器输出的振幅以及相位角信号通过数据采集卡读入微机；

步骤5)通过微机以单色仪分光得到单色光波长为横坐标，以锁相放大器输出的振幅信号为纵坐标，在微机上绘制出待测固体样品所需测量区域表面的表面光电压谱图；

和/或，以单色仪分光得到单色光波长为横坐标，以锁相放大器输出的相位角信号为纵坐标，在微机上绘制出待测固体样品所需测量区域表面的相位角谱图。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于：照射到待测固体样品表面单色光的波长的选取原则为大于固体样品的吸光范围，其范围为200-1000纳米。

4.如权利要求1或3所述的方法，其特征在于：

改变照射到待测固体样品表面单色光波长的步长为0.1-400纳米。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于：改变照射到待测固体样品表面单色光波长的步长为1-100纳米。

6.如权利要求4所述的方法，其特征在于：改变照射到待测固体样品表面单色光波长的步长为5-50纳米。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述激发光源为氘灯、钨灯、氙灯、汞氙灯或激光诱导光源(LDLS)，选取的原则是激发光源的波长范围包含待测样品的吸光范围。

8.如权利要求2所述的方法，其特征在于：所述微机为单片机或电脑主机。

9.如权利要求1或3所述的方法，其特征在于：

所述步骤4)的过程：通过单色仪改变照射到待测固体样品表面单色光的波长，重复步骤2)和3)过程20-50次。

10.如权利要求1所述的方法，其特征在于：待测固体样品所需测量区域的尺寸在1纳米×1纳米到90微米×90微米之间。

11.如权利要求1所述的方法，其特征在于：待测固体样品所需测量区域的尺寸为1纳米×1纳米到5纳米×5纳米之间。